行业研究报告-rfmems国内外现状及发展趋势(编辑修改稿)

行业研究报告-rfmems国内外现状及发展趋势(编辑修改稿)内容摘要：

司、 MEMTronics 公司（从 Raython公司独立出来）生产的基于开关的产品大量应用于 DARPA 和 NASA 主导的军事用途设备和系统中，日本 Omron公司、美国 WiSpry公司（被瑞声科技收购）生产的开关系列产品应用于民用领域，包括智能手机、导航终端、物联网等。 目前商业化的 MEMS 开关产品比较见表 2。 表 2 商业化 RF MEMS 开关产品对比 基于 RF MEMS 开关基本结构单元可以构建移相器、可调滤波器、可变波束天线等。 图 5为各类 RF MEMS 开关及衍生器件。 图 5 各类 RF MEMS 开关及衍生器件 RF MEMS 开关按照驱动方式不同，可以分为静电驱动开关、电磁驱动开关、热驱动开关、压电驱动开关等；按照电路结构，可以分为串联开关和并联开关；按照接触方式不同，可以分为接触式开关和电容式开关等。 目前，研究较为深入、已经产品化的 RF MEMS 开关是静电驱动的串联接触式和并联电容式开关。 RF MEMS 开关的主要性能参数包括驱动电压、插入损 耗、隔离度等，理想的开关具有极低驱动电压、零插入损耗、无限大的隔离度。 RF MEMS 开关及衍生器件和子系统的发展趋势：更高性能指标（高频带、低插损、高隔离度、低驱动电压）；高可靠性、长寿命；更简单的微纳工艺、更低的成本；更高灵活性和集成度。 滤波器 滤波器是构建射频微波子系统最重要、用量最大的器件之一，也是研究最广泛、成熟度最高的器件。 RF MEMS 滤波器有微带线滤波器、带状线滤波器、硅基腔体滤波器、熔融石英 SIW滤波器、 SAW滤波器、 BAW和 FBAR滤波器等，如图 6所示。 图 6 各类 RF MEMS 滤波器 针对高性能指标、高可靠性、高功率容量的军工市场需求， RF MEMS 滤波器主要有： ① 微带线滤波器； ② 硅基 SIW和腔体滤波器，国内中电 13所和 55所研制的该类型产品已达到实用化程度； ③ MEMTronics公司的高性能熔融石英 SIW滤波器，主要供应军工高端市场； ④ Avago公司 FBAR和 TriQuint公司 BAW滤波器，主要针对超小体积、高性能的应用领域，如智能手机、消费电子无线终端、微纳卫星等。 民用市场的射频微波滤波器主要以 SAW、 BAW滤波器以及近年来的 FBAR滤波器为主， SAW滤波器主要供应商有日本 EPCOS、村田制作所、富士通MediaDevice、欧姆龙、 MUTATA 公司及国内的中电 55所、中电 26所等。 SAW滤波器主要针对 2GHz以下的应用领域，如早期的 2G通信等。 FBAR滤波器频带可以达到 20GHz，体积小到 1mm x 1mm x ，近年来受到 RF MEMS 业界极大关注，其主要供应商有 Avago公司和 TriQuint公司。 其中， Avago公司的 FBAR滤波器和双工器在 20xx年度销售额近 4亿美元，相比 20xx年度增长 23%；而 TriQuint公司的 RF MEMS 产品在 20xx年度销售额近 （抢占了 Avago的市场份额），相比 20xx年度更是增长 141%。 国内中电 13所、 55所也对 FBAR滤波器展开研究，已研制出原理芯片，天津大学在此领域也有较好研究。