多晶体织构分析_晶体的极射赤面投影(编辑修改稿)内容摘要:

阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 一、照明系统 • 由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。 其作用是提供一束高亮度、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 为满足明暗场成像需求,照明束可在 23186。 范围内倾斜。 接负高压 照明源 阳极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 (一)电子枪 —电子源 常用的是热阴极三极电子枪,它由发夹形钨丝阴极、栅极帽、阳极组成。 栅极电压更低,自偏压回路可起到稳定和限制束流的作用。 交叉点处电子束直径约几十个微米。 阳极 阴极 偏压电阻 栅极 UP (a)自偏压回路 电子枪 (b)电子枪内的等电位面 负高压 阴极(灯丝) 栅极 等电位面 阳极 电子枪交叉点 (二)聚光镜 • 用来汇聚电子枪射出的电子束,以最小的损失照明样品,调节照明强度、孔径角和束斑大小,一般采用双聚光系统。 第一聚光镜是强激磁透镜,束斑缩小 1050倍,将电子枪第一交叉点缩小为15微米;第二聚光镜是弱激磁透镜,放大倍数为 2左右,在样品上获得 210微米的照明电子束。 电子枪第一交叉点 Φ50μm 第一聚光镜 M=1/101/50 样品 第二聚光镜 M≈2 Φ1μm Φ2μm 照明系统光路 二、成像系统 • 主要是由物镜、中间镜、投影镜组成 物镜用来形成第一幅高分辨电子显微图像或电子衍射花样。 透镜分辨本领的高低取决于物镜。 物镜的任何缺陷都将被其它透镜进一步放大。 降低像差可获得物镜的高分辨本领。 物镜是一个强激磁、短焦距透镜,放大倍数高 100300倍,高品质的物镜其分辨本领可达。 接负高压 照明源 阳极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 (一)物镜: • 物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。 极靴的内孔和上下极靴间的距离越小,物镜的分辨率越高。 为减小物镜的球差,通常在物镜的后焦面放一物镜光阑。 物镜光阑可减小球差、像散、色差,提高图像衬度。 它位于后焦面上,可进行暗场及衍衬成像。 物镜与样品之间的距离总是固定不变的,主要通过改变物镜的焦距和像距来改变物镜的放大倍数。 (二)中间镜 • 是一个弱激磁的长焦距变倍透镜,可在 020倍范围内调节。 放大倍数大于 1,进一步放大物镜像,小于1,缩小物镜像。 • 利用中间镜的可变倍率控制电镜的总放大倍数。 接负高压 照明源 阳极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 • 若把中间镜的物平面与物镜的像平面重合,则在荧光屏上得到一幅放大像,这是成像操作;若把中间镜的物平面与物镜的背焦面重合,则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样,这就是电子衍射操作。 L1 L2 (a) (b) L1 L2 成像系统光路 (a)高倍放大; (b)电子衍射 (三)投影镜 • 作用是把中间镜放大或缩小的像进一步放大,并投影到荧光屏上,是一个短焦距强激磁透镜,激磁电流是固定的,由于电子束的孔径角很小( 105rad),因此它的景深和焦长非常大,即使总放大倍数有很大的变化,也不会影响图像的清晰度。 • 目前,高性能的透射电镜大都采用 5级透镜放大,中间镜和投影镜各有两级。 接负高压 照明源 阳极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 三、观察记录系统 • 包括荧光屏和照相机构,在荧光屏(人眼敏感、发绿光的荧光物质)下面放置一个可以自动换片的照相暗盒。 • 电子感光底片采用对电子曝光敏感、颗粒很小的溴化物乳胶底片,是一种红色盲片。 照相只需几秒钟。 • 电镜工作时,整个电子通道都必须置于真空系统之内。 电子枪、镜筒、照相室之间都装有气阀,各部分可单独抽真空和放气。 • 数码相机、计算机存储 TEM主要部件的结构与工作原理 • 一、样品平移与倾斜装置(样品台) • 二、电子束倾斜与平移装置 • 三、消像散器 • 四、光阑 一、样品平移与倾斜装置(样品台) • 样品台要求严格,必须使铜网牢固的夹持在样品作中并保持良好的热、电接触。 平移是基本动作,通常在两个垂直方向上平移的最大距离为177。 1mm. 200方孔或圆孔,孔径,外径 3mm 为了对样品进行三维立体观察,样品台应即能平移,也能倾斜,从不同方位获得各种形貌和晶体学信息。 侧插式倾斜装置。 圆柱分度盘,其水平轴和镜筒的中心线垂直,样品倾斜时,倾斜的角度可直接在分度盘上读出。 样品杆本身带有倾斜或旋转装置,可使样品沿 x、 y轴倾转 177。 60186。 ,构成侧插式双倾样品台和单倾旋转样品台。 可测定晶体位相。 二、电子束倾斜与平移装置 电磁偏转器 上下线圈偏转的角度相等但方向相反,电子束平移; 上线圈偏转。
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