多晶体织构分析_晶体的极射赤面投影(编辑修改稿)内容摘要:
阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 一、照明系统 • 由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。 其作用是提供一束高亮度、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 为满足明暗场成像需求,照明束可在 23186。 范围内倾斜。 接负高压 照明源 阳极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 (一)电子枪 —电子源 常用的是热阴极三极电子枪,它由发夹形钨丝阴极、栅极帽、阳极组成。 栅极电压更低,自偏压回路可起到稳定和限制束流的作用。 交叉点处电子束直径约几十个微米。 阳极 阴极 偏压电阻 栅极 UP (a)自偏压回路 电子枪 (b)电子枪内的等电位面 负高压 阴极(灯丝) 栅极 等电位面 阳极 电子枪交叉点 (二)聚光镜 • 用来汇聚电子枪射出的电子束,以最小的损失照明样品,调节照明强度、孔径角和束斑大小,一般采用双聚光系统。 第一聚光镜是强激磁透镜,束斑缩小 1050倍,将电子枪第一交叉点缩小为15微米;第二聚光镜是弱激磁透镜,放大倍数为 2左右,在样品上获得 210微米的照明电子束。 电子枪第一交叉点 Φ50μm 第一聚光镜 M=1/101/50 样品 第二聚光镜 M≈2 Φ1μm Φ2μm 照明系统光路 二、成像系统 • 主要是由物镜、中间镜、投影镜组成 物镜用来形成第一幅高分辨电子显微图像或电子衍射花样。 透镜分辨本领的高低取决于物镜。 物镜的任何缺陷都将被其它透镜进一步放大。 降低像差可获得物镜的高分辨本领。 物镜是一个强激磁、短焦距透镜,放大倍数高 100300倍,高品质的物镜其分辨本领可达。 接负高压 照明源 阳极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 (一)物镜: • 物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。 极靴的内孔和上下极靴间的距离越小,物镜的分辨率越高。 为减小物镜的球差,通常在物镜的后焦面放一物镜光阑。 物镜光阑可减小球差、像散、色差,提高图像衬度。 它位于后焦面上,可进行暗场及衍衬成像。 物镜与样品之间的距离总是固定不变的,主要通过改变物镜的焦距和像距来改变物镜的放大倍数。 (二)中间镜 • 是一个弱激磁的长焦距变倍透镜,可在 020倍范围内调节。 放大倍数大于 1,进一步放大物镜像,小于1,缩小物镜像。 • 利用中间镜的可变倍率控制电镜的总放大倍数。 接负高压 照明源 阳极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 • 若把中间镜的物平面与物镜的像平面重合,则在荧光屏上得到一幅放大像,这是成像操作;若把中间镜的物平面与物镜的背焦面重合,则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样,这就是电子衍射操作。 L1 L2 (a) (b) L1 L2 成像系统光路 (a)高倍放大; (b)电子衍射 (三)投影镜 • 作用是把中间镜放大或缩小的像进一步放大,并投影到荧光屏上,是一个短焦距强激磁透镜,激磁电流是固定的,由于电子束的孔径角很小( 105rad),因此它的景深和焦长非常大,即使总放大倍数有很大的变化,也不会影响图像的清晰度。 • 目前,高性能的透射电镜大都采用 5级透镜放大,中间镜和投影镜各有两级。 接负高压 照明源 阳极 光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选取光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 透射显微电镜构造原理和光路 (a)透射电子显微镜 (b)透射光学显微镜 三、观察记录系统 • 包括荧光屏和照相机构,在荧光屏(人眼敏感、发绿光的荧光物质)下面放置一个可以自动换片的照相暗盒。 • 电子感光底片采用对电子曝光敏感、颗粒很小的溴化物乳胶底片,是一种红色盲片。 照相只需几秒钟。 • 电镜工作时,整个电子通道都必须置于真空系统之内。 电子枪、镜筒、照相室之间都装有气阀,各部分可单独抽真空和放气。 • 数码相机、计算机存储 TEM主要部件的结构与工作原理 • 一、样品平移与倾斜装置(样品台) • 二、电子束倾斜与平移装置 • 三、消像散器 • 四、光阑 一、样品平移与倾斜装置(样品台) • 样品台要求严格,必须使铜网牢固的夹持在样品作中并保持良好的热、电接触。 平移是基本动作,通常在两个垂直方向上平移的最大距离为177。 1mm. 200方孔或圆孔,孔径,外径 3mm 为了对样品进行三维立体观察,样品台应即能平移,也能倾斜,从不同方位获得各种形貌和晶体学信息。 侧插式倾斜装置。 圆柱分度盘,其水平轴和镜筒的中心线垂直,样品倾斜时,倾斜的角度可直接在分度盘上读出。 样品杆本身带有倾斜或旋转装置,可使样品沿 x、 y轴倾转 177。 60186。 ,构成侧插式双倾样品台和单倾旋转样品台。 可测定晶体位相。 二、电子束倾斜与平移装置 电磁偏转器 上下线圈偏转的角度相等但方向相反,电子束平移; 上线圈偏转。多晶体织构分析_晶体的极射赤面投影(编辑修改稿)
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