ab339中文校正手册(编辑修改稿)

ab339中文校正手册(编辑修改稿)内容摘要：

为 3. 放入 W/H SETUP GAUGE于 JIG 与轨道 (WorkHold) 中间 ,移动 JIG 检查升降台是否与轨道平行 调整步骤 : 1. 将 Elevator之 Kicker module 拆下 2. 放松升降台之固定螺丝 3. 手动调整升降台之前后与角度 ,让 W/H SETUP GAUGE 能在 JIG 与轨道中间平顺移动 4. 锁紧升降台之固定螺丝 5. 重新调整升降台之定位板 SETUP ELEVATOR XAXIS amp。 MGZN GUIDE GAP BETWEEN MAGAZINE 检查步骤 : Top View Side View 23 1. Elevator Xaxis 与 Magazine 之间的空隙必须为 ~1mm 2. Mgzn Guide 与 Magazine 之间的空隙必须为 1~ 调 整步骤 : 1. Elevator Xaxis 之空隙调整 : (1) 进入 WH menu Service Mv Dep Data  Lamp。 R Xele (2) 调整 X motor的补偿值 2. MGZN Guide 之空隙调整 : (1) 进入 WH menu Service Mv Dep Data  Lamp。 R Yele (2) 调整 Y motor的补偿值 3. 进入 WH menu Service, 设定 mag clamp in Y=250 (130 default) mag clamp open (Y)=170~200 (100 default) 1~ ~1 24 TRANSDUCER 水平之检查与校正 安装步骤： 1. 将加热器（ Heater Block）关闭。 2. 移开热压板（ Top plate amp。 Window clamp） , 并装上标准平台（如图一）。 3. 移开焊针（ Capillary） , 并装上香菇头 , 用 2Kgf 锁紧（如图二）。 4. 进入 Main menuSetup menuCalibrationB/H Position Calibration 5. 再进入 Setup Sensor ( step)，按 “1” 将 Bond Head Z motor 电源关闭。 6. 用手将 Transducer 下压至香菇头与标准平台 ()接触为止。 （圖二） （圖一） 25 检查与调整步骤： TRANSDUCERTOOL DATUMPLATFORMTOOL DATUMTOP PLATEGAP ADJUSTTOZEROCL A M P I NGS CR E WS CR E W AS CR E W A 1. 由正面看接触面必须没有空隙（如图三）。 2. 如果有空隙则需放松 Clamping screw , 并旋转调整 Transducer。 3. 调 整至接触面没有空隙后 , 将 Clamping screw 用 锁紧（如图四）。 （圖三） （圖四） 26 4. 由侧面看接触面必须没有空隙（如图五）。 5. 如果有空隙则需放松 Screw A 三个螺丝 , 并上下调整 Transducer 固定座。 6. 调整至接触面没有空隙后 , 将 Screw A 三个螺丝用 锁紧（如图六）。 （圖五） （圖六） 27 BH Position Calibration Step Gauge 调整步骤： SETUP Menu Calibration Menu BH Position Calibration ETorch移开 (避免进行校正时 , ETouch和 Step Gauge 发生碰撞 , 造成 ETorch损坏 ) Setup Sensor (),按下 ”1” , 关闭 Bond Head 电源 ,此时 Bond Head 为不咬电的状况 ,接着移动 XY Table , 将 Capillary移至 Step Gauge “” 的位置如 (图 1) (若 Bond Head 无法放至 Step Gauge “” 的位置 ,请检查 Capillary高度、 Top Plate 高度并重新调整 Step Gauge “” 及 “” 的位置 ) 图 1 28 Z轴 Sensor amp 归零 .(Spec 为 2040~2048)归零方法如下述 : (1) 先将 amp 的拨钮由 ”Lock” 拨至 ”Free”, 接着按下归零 键 ”Zero” (2) 再将 amp 的拨钮由 ” Free” 拨至 ” Lock” 即完成归零 Capillary自 Step Gauge 移开 ”1” 选择 ”Warn reset bondhead”, 将 Bond Head 电源打开 (此时 Bond Head 恢复咬电状态 ) ”2”选择 ”Set(7mm) step”, 按 ”Pg Dn amp。 Pg Up”调整 BondHead 高度 ,让 Capillary能够置放于Step Gauge “” 的位置 (此时 Bond Head Position约为 320~300,倘若此时 Capillary无置放于Step Gauge “” 的位置 ,请重复 Step3 , Step4) ”Enter” 使其 Bond Head 执行校正 (Spec:2500+4) , 倘若校正数值不在 Spec 内 , 调整Sensor amp的 Trim POT旋钮 , 同时重复 Step8 , 直到合于 Spec (至少重复 5次以上 , 并且每次都须合于 Spec) 9. 按 ”3”选择 ”Verification , 按 ”Pg Dn amp。 PgUp” 调整 Bond Head 高度 (此时 Bond Head Position约为 220~200) , 将 Bond Head移到 Step Gauge “” 的位置让 Capillary能够置放于Step Gauge “” 的位置 , 倘若此时 Capillary无法置放于 Step Gauge “” 的位置 , 请重复 Step3 , Step 4) 按 ”Enter”使其 Bond Head 执行 Reset , 将 Bond Head 移到 Step Gauge “” 的位置 , 按 ”Enter” 使其 Bond Head 执行验正 (Spec:1000+50) (Sensor amp) TRIM POT Reset Button Free/Lock Switch 29 ,按 ”Stop” 跳出 ”BH Position Calibration” 接着按 ”1” 选择 ”BH Position Compensation”, 同时将 Bond Head 移至空旷处如 (图 2) , 执行 Calibration和 Verification 图 2 Bond Head amp。 高度设定 调整步骤： SETUP Menu Calibration Menu BH Position Calibration ETorch移开 ,松开 Proximity Sensor 的固定螺丝与设定挡板 Limited Position 的螺丝 (如图 3) Setup Sensor (),按下 ”1” , 关闭 Bond Head 电源 ,此时 Bond Head 为不咬电的状况 ,接着移动 XY Table , 将 Capillary移至 Step Gauge “” 的位置 (如图 4), 将 Proximity Sensor向前推紧同时使用 Bond Head 位置至 Step Gauge “” 的位置 ,轻轻锁紧设定挡板 Limited Position 的螺丝 BH Position Calibration 1~10 的校正步骤 30 Bond Force Calibration (Use Sensor) (Bond Force Sensor) 调整步骤： MAIN menu 按 O/C Trk key 将轨道打开 , 并且进入 Utilities Menu Power Control选项关闭加热器电源 , 让加热器降至常温 Window Clamp 及 Top Plate 移开 , 同时将 Force Sensor Top Plate 置放于加热器上 , 如 (图 3) (图 3) XDCR的信号 线接到 Force Sensor Top Plate 上 , 将 Scope的信号线接到 Z Servo Board的 Force Cal 孔 , 并且将 BQM 板上的 F 接头取下 , 如 (图 5) 此信号线连接至 Force Sensor 的 XDCR 此信号线连接至 Z Servo Board的 Force Cal 孔 此信号线连接至 Force Sensor Top Plate 31 PASSWORD 2020 (图 5) Setup Calibration  ”Bond Force Calibration” 内 , 选择 ”Bond Force Calibration(Snr)” 选项 Force Sensor Constant Value , (其 Constant Value 计算如下述 )若 average sensitivity=(mv/N) (mv/N) =(mv)/(1000/) (g) =(mv/g) =(g/mv)故 Constant Value =2021 Capillary移至 gauge 上方 , Sensor 的正中央 , 按下 ”Enter” 进行校正 ”Stop” 跳出 Calibration画面 , 接着进入 ”Force Verification” , 输入测试值 , 并且检查回授值是否合于 Spec , 其 Spec 如下 : 测试值 回授值 0~200 测试值 +3 201~400 测试值 +5 Spec , 请重复上述步骤 此信号线连接至Force Sensor 的 Scope 32 BOND FORCE CALIBRATION amp。 VERIFICATION (SETUP GAUGE 50g mass) 调整步骤 : 4. 进入 MAIN menu  Setup menu  Calibration menu  Bond Force Calibration  Force Calibration  Force Calibration(2) 5. 移开 ETorch固定座和压板 (Window Clamp) 6. 将 50g mass 套在 Transducer 上面并锁紧 7. Bondhead 移至热板上方并按 ”ENTER” 键 , 将 Capillary接触到热板 8. 等待机台校正完毕后 , 按任何继续下一步骤 9. 按 ”3” 输入接触补偿数值 50g mass 移开 检查步 骤 : 1. 按 ”2” (Verification)做验证 2. Bondhead 移至热板上方并按 ”ENTER” 键 , 将 Capillary接触到热板 3. 输入力量数值 (正常值大约为 10~400g) 并按 “ENTER” 键 4. 使用 Gram Gauge 将 Transducer 向上提高测量 , 直到感应器显示「 open」为止 5. 读取 Gram Gauge 上之测量数值是否在规格内 , 并请重复步 10 , 11 检查二次以上 6. 检查测量完毕后 , 请按 “STOP” 键回。