光伏清洗设备培训详解(编辑修改稿)

光伏清洗设备培训详解(编辑修改稿)内容摘要：

完 成，刻蚀槽的显示读值为“ full chem.”，槽被充满，二次循环自动开始，化学溶液将通过热交换器抽换。 等待溶液温度降到设定的工艺温度范围，刻蚀槽的状态在屏幕上将变为“ ready”。 切换到自动模式“ mode auto”开始生产。 碱槽（ Alkaline bath） 选取菜单为“ manual alkaline”。 选择 “ mode man” ，通过按钮选择手动模式。 填充碱槽 NaOH bath，按下按钮“ fill chem.”， DI water 首先被加入进去，然后加入NaOH。 二次循环在填充过程内就开始了。 等待碱槽水位到达中间感应器的高度，则屏幕上的显示读值为“ full chem.”。 切换到自动模式“ mode auto”开始生产。 清洗槽（ rinse1 和 rinse2） 选取菜单为“ manual rinse1”或 “ manual rinse2” 选择 “ mode man” ，通过按钮选择手动模式。 填充该槽，按下按钮“ fill DI”。 二次循环 在填充过程中就开始了。 等待该槽水位到达中间感应器的高度，则屏幕上的显示读值为“ full”。 切换到自动模式“ mode auto”开始生产。 酸清洗槽（ Acidic bath） 选取菜单为“ manual acidic”。 选择 “ mode man” ，通过按钮选择手动模式。 填充酸槽 Acidic bath，按下按钮“ fill chem”， DI water 首先被加入进去，然后按照设定的参数值加入 HF 和 HCl。 二次循环在填充过程内就开始了。 等待酸槽水位到达中间感应器的高度，则屏幕上的显示读值为“ full chem.”（绿色）。 切换到自动模式“ mode auto”开始生产。 6. 开始刻蚀 填充刻蚀液 机器在自动模式下，碱槽和酸冲洗槽都已经运转， HF/ HNO3 刻蚀槽（ etch bath）是空的，此时刻蚀液处于储备槽内，刻蚀槽显示为“ empty”和“ not ready”（黄色）。 选取菜单为“ Manual etch bath”。 选择 “ mode man” ，通过按钮选择手动模式。 填充刻蚀槽，按下按钮“ fill bath”。 等待该槽完全充满，屏幕上将显示为“ full chem.” 和“ ready”（绿色）。 切换到自动模式“ mode auto”开始生产。 Figure 8: Manual Etch bath: Filling the bath 选择主要屏幕 main screen 按下按钮“ start”（在屏幕下方），开始生产。 Figure 9: Main screen: Starting process 7. 工艺操作 正常的工艺操作以硅被刻蚀掉的数量（ =群众差别）或通过化学分析来控制刻蚀率。 最佳的刻蚀深度范围为 ~。 为测量刻蚀深度，必须在制绒刻蚀前后分别测量硅片的重量，并将数据记录在 Excel 文档中。 无论是使用新配溶液或储备槽中的旧溶液，都必须通过刻蚀过程活化溶液。 档刻蚀液变的更活泼时，刻蚀率将变高，此时建议提高传送带带速。 这一 活化过程大约需刻蚀 500块硅片。 最佳刻蚀率范围约为 ~ /min，传送带速为 ~。 因为设备操作时对应不同的硅片型号可以设定各自不同的程序，那么在机器计算出的硅片刻蚀量（ wafer er。