钰利电子材料公司沉铜pth和板电工艺培训讲义(37页)-管理培训(编辑修改稿)内容摘要:
产每千尺需补加 YL333 ; 温 度 : 室温 处理 时间 : 13min(标准 2min); 换 槽 : 生产 500尺 /L时就应更重开新缸; 三、 PTH各 药水缸成份及其作用 14 ( 10)二、碱性速化缸 ( 需机械摇摆和循环过滤) 作 用 :将钯胶体已完美附着在孔壁基材上的皮膜及铜 面上的部分附着层,对其胶体内外皮进行一种 “剥壳剥皮”的动作,令其露出胶体中心的钯 来,使能与下一站的化学铜进行镀铜反应 ; 药水成份 : YL333L 开缸量为 10%( V/V); 生产每千尺需补加 YL333L ; YL333S 开缸量为 10%( V/V); 生产每千尺需补加 YL333S 120g; 温 度 : 3040℃ 处理 时间 : 13min(标准 2min); 换 槽 : 生产 500尺 /L时就应更重开新缸; 三、 PTH各 药水缸成份及其作用 15 三、 PTH各 药水缸成份及其作用 ( 11)一、化学薄铜缸 ( 需机械摇摆、空气搅拌和循环过滤) 作 用 :在孔壁上镀上一层铜,为后面电镀做准备; 药水成份 : YL343M 开缸量为 7%( V/V); YL343A 开缸量为 7%( V/V), 生产每千尺需补加 YL343A 12L; YL343B 开缸量为 7%( V/V), 生产每千尺需补加 YL343B 12L; 其它成份控制范围内: Cu2+ ,标准( ); NaOH 914g/L,标准( 11g/L); HCHO 59g/L,标准( 7g/L); 温 度 : 2030℃ 处理 时间 : 815min(标准 12min) 16 ( 11)二、化学厚铜缸 (需机械摇摆、空气搅拌和循环过滤) 作 用 :在孔壁上镀上一层铜,为后面电镀做准备; 药水成份 : YL800M 开缸量为 7%( V/V); YL800A 开缸量为 4%( V/V), 生产每千尺需补加 YL800A 3040L; YL800B 开缸量为 7%( V/V), 生产每千尺需补加 YL343B 3040L; 其它成份控制范围内: Cu2+ ,标准( ); NaOH 815g/L,标准( 11g/L); HCHO 36g/L,标准( 7g/L); 温 度 : 2030℃ 处理 时间 : 3040min(标准 35min); 三、 PTH各 药水缸成份及其作用 17 三、 PTH各 药水缸成份及其作用 ( 12)一、化学铜缸 (需机械摇摆、空气搅拌和循环过滤) 化学反应方程式: 正反应: Pd催化及碱性条件下,甲醛分离 (解)下(氧化)而产生甲酸根阴离子 HCHO+OH H2↑ +HCOO(甲酸) 接着是铜离子被还原 Cu2++H2+2OH→Cu+2H 2O Pd 18 ( 12)二、化学铜缸 (需机械摇摆、空气搅拌和循环过滤) 最后,所镀出的化学铜层又可作为自我催化的基地, Cu2+又在此已催化的基础上被电子还原成金属铜,如此不 断,直至减弱 HCH+OH [HCH] → HCOH+H Cu2++2H → Cu ↓ 负反应 : 三、 PTH各 药水缸成份及其作用 催化 + OH O。钰利电子材料公司沉铜pth和板电工艺培训讲义(37页)-管理培训(编辑修改稿)
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