电池车间工艺流程培训讲义(编辑修改稿)内容摘要：
质干净残留离子较少 + 利于 1次激光刻划 源 水( 自 来 水 )石 英 沙 活 性 炭反 渗 透 膜浓 水( 排 出 )纯 净 水E D I去 离 子 水1 / 3反渗透原理 EDI原理 激光刻划的基本原理（ laser 1） + 波长 1064 nm红外激光 将导电层刻划成一条条等面积的长条（前电极 \正极） 玻 璃透 明 导 电 层1 0 6 4 激 光侧 视 图俯 视 图+ 超声波清洗 + 没有使用清洗剂 + 清洗之后芯片直接装入反应箱 + 使用去离子水冲洗 + 风刀烘干基片 工序：预热、 PECVD、冷却 在导电层上沉积多层不同掺杂的非晶硅 薄膜，构成有一定结构的电池 控制点： 温度、本底真空度、沉积压力、气体流量、电源功率、辉光时间、辉光稳定性 清洗 玻 璃透 明 导 电 层 非 晶 硅 A lNIPT C OA n o d eC a t h o d e+ 532nm波长 可见绿色 + 使用绿光原因：因为非晶硅在 光吸收系数比较高 + 将硅刻划掉而没有伤到导电层，将导电层保留用于电池电极之间的连接用 + 与一次激光之间的距离和刻划线宽是一个重要的管控点 + 已激光一为基准线向右偏移 50。阅读剩余 0%
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