蓝宝石晶体生长、衬底加工及相关设备制造项目可行性报告(编辑修改稿)内容摘要:

Orientation Towards Primary Flat 0176。 177。 176。 Wafer Diameter mm 177。 Thickness 432m 177。 25m Orientation Flat mm 177。 Orientation Flat Location Aaxis 177。 176。 Front Surface Surface Roughness (Ra) Epi Polish Backside Roughness < u TTV ≤ 5 um Bow ≤ 5 um Warp ≤ 5 um Edge Condition Edge defect not to exceed SEMI M391, Table 2 Front Surface Condition Front Surface quality as per SEMI M391, Table 2 10 Substrate Laser Marking Standard Backside Packaging Substrates to be Packaged in a class 100 clean room environment, in cassettes of 25pcs, under a nitrogen atmosphere. 生产类型及工艺流程 工作制度:单班、三班 技术来源 是引进还是自主知识产权;产品技术水平及在国际国内 的地位;产品的技术先进性;在产品中运用了何种先进技术。 蓝宝石晶体生长的技术主要来源于乌克兰,俄罗斯,美国以及韩国。 晶片的加工技术和 LED设备制作的技术主要来源于韩国。 主要设备和仪器 主要设备和仪器清单(包括设备名称、型号、生产厂家、数量、缺少单价等)。 可按下表方式提供,(进口设备应注明是 FOB 价、 CIF价) 主要设备清单 序 号 设备名称 型号 数 量 单价 (万元) 总价 (万元) 产 地 1 蓝宝石炉 OMEGA M300 180 264 47520 乌克兰 2 高低压配电系统 JYB30K 1 3600 3600 上海鼎富 3 工程设计 1 100 100 上海鼎富 4 动力照明系统 JYD25K 1 1628 1628 上海鼎富 5 冷却系统 JYS2KT 3 400 1200 上海鼎富 6 压缩气、氩气、排气 JYQ4KG 3 276 828 上海鼎富 7 端面切割机 DIA500LM5 1 98 98 日本 8 定向仪 RIGAKU 1 55 55 日本 /丹东 9 掏棒机 SDM300 3 540 1620 日本 /德国 11 10 端面研磨机 TSKKTSF40204NC 3 180 540 日本 11 滚圆机 TSKKCSN4515GOX 3 360 1080 日本 12 多线锯 MWS612BD/OMEGA 10 180 1800 日本 /乌克兰 13 背面减薄机 SPG600 10 110 1100 日本 14 倒角机 KJCAM30120V6 28 60 1680 韩国 15 边缘形貌轮廓仪 YUHI 1 60 60 日本 16 双面研磨机 ENGIS:EJD16B 25 120 3000 日本 17 自动贴片机 EBM485SA(陶瓷盘) 27 120 3240 日本 18 单面铜定盘研磨机 EJW1200IF3ALPLC 30 139 4170 日本 19 粗抛光机 EJW1200I3ALPLC 38 125 4750 日本 20 精抛光机 EJW1200I3ALPLC 20 125 2500 日本 21 晶片清洗机 ENGIS 40 80 3200 日本 22 激光打标机 MIYACHI 20 322 6440 日本 23 表面划痕检测仪 VATION 1 50 50 日本 24 平坦度检测仪 NIDEKFT17V2 5 110 550 日本 25 真圆度仪 EC2500 5 90 450 日本 26 干涉仪 FUJINON 5 60 300 日本 27 粗糙度检测仪 7 77 539 日本 28 激光器 10 2 上海 29 包装机 20 20 400 国产 总计: 92500 12 六、物料供应和公用设施 1 物料供应 序号 名称 规格 单位 数量 单价 来源 /供应商 1 三氧化二铝 50/80 Kg 56700 300 国产 /依铭 2 籽晶 13X13X100 根 4860 3000 国产 2 动力要求 使用气体种类、用气量、对气体质量要求 ,建议供气方式; 3 动力用量及公用设施 项目动力用量要求及公用设施建设情况。 包括水、电、气、工艺冷却水、纯水等。 4 仓库及运输 仓库及运输状况。 七、 建设场地条件 厂房选址详细说明,当地在交通、能源、通讯的配套条件情况,厂址地质构造情况,自然条件等 :青海省生物科技产业园 (以下简称生物产业园 )于 2020 年 4月经人民政府批准设立。 区域规划面积 平方公 里,位于西宁市城北区,东依北川河,西靠大酉山,距离市中心 6 公里,距西宁铁路北站 4 公里,距西宁机场 20 公里;宁张公路( 227 国道)和城市快速路(海湖路)从园区东西两侧穿过,交通十分便利。 青海生物科技产业园地理位置优越,地势宽阔,植被条件好,空气清新,适宜生物技术,中藏药和绿色保健食品加工企业的洁净生产。 青海生物科技产业园的创建是省委、省政府加快产业结构和调整,延长产业链条。 发展高新技术产业,培养特色经济,营造良好的投资环境,加大招商引资力度的重要措施。 青海生物科技产业园充分利用青藏高原独有的动植物资源 ,重点发展生物技术、中藏药、高原绿色食品加工业及高新技术产业项目。 青海生物科技产业园按照政府引导、市场机制、企业运作、产学研结合的模式,以体制创新、科技创新为动力,发挥集聚和带动效应,将园区建设成为集科 13 学研究、开发、生产于一体的工业新区。 青海生物科技产业园以“七通一平”为主体的基础设施建设已经基本完成,设施完备,功能齐全,环境优美,政策优惠。 目前,已有 84 户生产医药、食品加工等企业和项目入驻。 23户企业建成投产,园区呈现蓬勃发展的良好势头 2. 工程地质条件 场地地形地貌 场地地形平坦,相对高差 仅 米。 高程引自场地东南侧已知站点,标高为 米,。
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