中芯国际集成电路制造(天津)有限公司验收评价报告(编辑修改稿)

中芯国际集成电路制造(天津)有限公司验收评价报告(编辑修改稿)内容摘要：

√ ≤65dB。 洁净实验室耐火等级不应低于二级。 GB500732020 √ 二级。 洁净室的顶棚和壁板应为不燃烧体，且 不得采用有机复合材料。 GB500732020 √ 洁净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。 GB500732020 √ 用防火墙和防火门分隔。 洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启，并加闭门器。 GB500732020 √ 洁净厂区应设置事故排风，洁净室事故排风换气次数应采用 10～ 20 次 /h，事故排风宜由常用排风系统与事故排风系统共同保证，事故排风装置的开关应分别设在洁净室内和室外便于操作的地点，事故排风应与报警装置联锁。 SJ3000292 √ 设置排风系统，常开；特殊气体室室外设手动开关，设自动联锁报 警。 3 作业环境及工艺、设备安全装置 作业环境 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 车间内人工运输通道宽度必须 ≥。 SJ3000292 √ 设备设施之间应留有相应的操作空间、 检修空间、巡回检查及安全通道。 SJ3000292 √ 洁净厂房应设置供人员疏散用的应急照明，并应设置指明应急安全出口的疏散标志。 在专用消防出口处应设红色应急照明灯。 SJ3000292 √ 设应急照明、疏散标志。 易燃易爆厂房的人员疏散，通道应保持畅通，并应设置应急照明，疏散指示标志及排烟措施。 SJ3000292 √ 钢梯、平台所设置的护栏的设计应符合 有关标准。 ～393 第 条 废液收集罐处平台护栏不符要求。 电子、化学工艺安全 高能离子注入机应设在人流最少的区域内，并应有符合国家标准要求的接地及相应的电磁波、 X 射线防护措施。 SJ3000292 √ 设置于人流最少的东侧，采 取隔离防护措施。 联动生产线应有紧急制动装置或联锁装置，危险部位应设置醒目的警告标志；散发毒气的工序应设置排风；带电作业的工序需装设自动保护装置。 SJ3000292 √ 设置紧急制动，设置警告标志及排风系统，带电作业设置接地故障、短路故障保护装置。 使用酸、碱或有机溶剂进行清洗的设备，必须装设局部排风系统，使用有毒溶剂进行清洗的设备应采取密闭措施；凡使用电气的化学清洗设备，应有良好的接地。 SJ3000292 √ 均设置。 生产车间内应 设置紧急冲淋装置及洗眼器。 SJ3000292 √ 设置洗眼、淋浴器。 对于存在激光辐射设备，应采取屏蔽等 防护措施。 SJ3000292 √ 屏蔽光源保护措施。 防火、防爆、防中毒 输送易燃易爆介质的管道、管件、阀门、泵的连接处必须严密，管道系统应采取接地措施。 SJ3000292 √ 管道系统通过管架接地。 易燃工作间的设备、电气线路，开关、灯具等，均应采用相应等级的防爆型产品。 SJ3000292 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 电气设备金属外壳应与 PE线可靠连接。 GB5016992 √ 氢气、 CO 和天然气管道不能通过烟道、通风管、配电室和易燃易爆物仓库。 GB5002893 √ 管道应标志介质及流向。 SJ3000292 √ 对有害气体、易燃气体的作业区，应采取切实有效的防护措施，提高自动化，采取密闭、隔离生产。 SJ3000292 √ 隔离操作、密闭生产。 车间空气中 有害物质的浓度，必须符合《工业企业设计卫生标准》的规定。 SJ3000292 ∽ 已做监测，数据暂 不能提供。 输送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蚀性气体或液体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法，必须具有密封、耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。 SJ3000292 √ 双套管输送，防腐内涂层。 危险相同的生产，宜集中或相邻布置 SJ3000292 √ 对于产生有害、有毒物质的厂房，厂房内部应采取便于清扫、刷洗以及防止毒物 附着和积蓄的措施。 SJ3000292 √ 防泄漏收集采用二次容器， 倍容积。 车间内各种明沟，应加设盖板。 SJ3000292 √ 生产过程中工作服易污染、沾染，易经皮肤吸收的剧毒物质，洁净度要求严格的厂房和车间应设置洗衣房。 SJ3000292 √ 设洗衣房。 凡使用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗 的设备，必须装设局部排风联锁。 SJ3000292 √ 有下列情况之一时，排 风不应合为一个系统： 混合后能引起燃烧或爆炸时； （ 1）混合后能引起燃烧、爆炸时； （ 2）易燃易爆工作间排风与一般工作间排风。 SJ3000292 √ 均设置独立排风。 氢气、煤气管道，在末端、最高点等处应设置放散管，放散管应高出屋顶；放散管上应设阻火器。 SJ3000292 √ 洁净厂房内用于硅烷等容易自燃气体的风管宜采用不锈钢管、排放含酸、碱性气体的风管应采用不燃或经过防火处理的专用塑料风管或不锈钢风管。 SJ3000292 √ 双层不锈钢、酸碱风管采用 ATC 玻璃钢涂层。 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 4 危险化学品的使用、输送与管理 危险化学品应按其类别、性质分类、分堆、分间储存、输送。 性质相抵触的化学危险品，严禁混放在一起。 SJ3000292 √ 分酸、 碱有毒气体室、硅烷室、易燃气体室等。 支援车间分功能区。 输送危险化学品的设备、附属仪表、器材等，应根据危险介质，采用必要的防泄漏、防腐蚀措施。 输送腐蚀性较强的液体管道，不应敷设在其它管道的上方，并不宜连接埋地敷设。 SJ3000292 √ 双层套管内设泄漏检测。 储存有较强腐蚀性液体的设备应设置必要的防溢出、防渗漏紧急处理设施。 其基础及周围地面应采取防腐蚀处理。 SJ3000292 √ 全封闭输送机组，多种报警联锁装置；周围设置围堰。 对于输送具有较强腐蚀性液体的化学药剂泵、在其填料函或机械密封圈、法兰、阀门易喷射泄漏处，应设置适当的安全防护。 SJ3000292 √ 全封闭 PLC 程控泵组无泄漏。 泵为全封闭型 输送有毒介质的设备、管道放空时，应 加以收 集或处理，不得任意排放。 SJ3000292 √ 收集并加以洗涤。 易燃、易爆的车间，应采用易于清洗、 撞击或磨擦时不产生火花的地面。 SJ3000292 √ 硅烷室、易 燃室符合要 求。 有爆炸危险的房间（如硅烷室、易燃气体室、生产车间等），应设置泄压措施，安全出口不应少于 2 个。 其中一个直接对外，不超过 100m2 的房间可设一个出口。 GBJ1687 ∽ 硅烷室设泄压其余无，安全出口均不少于 2 个。 危险化学品使用场所应设置通讯、报警装置， 并保证在任何情况下均处于正常使用状态。 危险化学品安全管理条例 第 18 条 √ 设置应急通讯、自动、手动报警装置。 应在危险化学品作业场所设置急救设施，并提供应急处理的方法。 工作场所安全使用化学品规定 第 17 条 √ 设置应急用品柜，提供处理方法。 使用单位应对盛装、贮存危险化学品的设备，采用颜色、标牌、标签等形式，标明其危险性。 工作场所安全使用化学品规定 第 19 条 √ 储存柜上均有标识。 丙酮、双氧水等氧化剂不得在操作岗位 附近混合贮存，氧化剂应单独存放。 GB156031995 √ 单独存放。 废弃、过期的化学危险品及使用过的包 关于加强化学 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 装容器必须妥善保管，不得随意抛弃，依据危险废弃物的处置标准进行处置。 危险物品管理的通知 使用危险化学品，在天津市有关主管部门办理了登记手续，并取得使用许可证。 市安监局、市经委相关文件要求 ∽ 正申办。 有关领导和从业人员必须接受法律、法规、规章和安全知识、专业技术的培训，经考核合格，方可上岗作业。 《危险化学品安全管理条例》 第四条 ∽ 已组织，尚未培训。 5 有毒气体控制装置 砷烷、氯气、氨等有毒、易燃、易爆气体的钢瓶柜，离子刻蚀设备、离子注入机等使用有害气体的作业点，应设事故排风装置。 SJ3000292 √ 使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作间，宜设报警装置及事故排风。 报警装置宜与生产设备、操作阀联锁，不工作，亦应定时进行排风。 SJ3000292 √ 设置报警联锁装置及事故排风。 6 电气 电气装置采用接地故障保护时，应做总 等电位联接。 SJ3000292 √ 等电位连接。 检测和控制仪表的电源和气源，停电或停气可能使生产、动力设备造成重大事故时，必须有备用电、气源。 备用时应根据工艺、动力要求确定，一般不小于1530 分钟。 SJ3000292 √ 设发电机 3 台，压缩空气备用气源≥30min。 停电或停气时，调节阀的阀位应处于安 全位置。 SJ3000292 √ 消防设施、防烟排烟系统、电动防火门窗、火灾应急照明、消防用电设备，应采用单独的供电回路，并当发生火灾切断生产、生活用电时，应仍保证消防用电。 其配电设备应有明显标志。 SJ3000292 √ 单独设置供电回路， UPS、 EPS、SP 电源， 在有爆炸危险环境内，敷设电气线路的沟道、电缆或钢管，在穿越不同区域之间隔墙或楼板处的孔洞，应采用非燃性材料严密堵塞。 SJ3000292 √ 防火水泥堵塞。 电气设备线路必须安全可靠 ,照明应采用有防护罩的灯具。 SJ3000292 √ 线路穿管敷设，灯 具有防护罩。 在火灾、爆炸危险环境内，可能产生静 SJ3000292 √ 设备、管道均采取序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 电危害的设备、管道应采取静电接地措施。 静电接地措施。 在重点防火、防爆作业区的入口处，应设计人体导除静电装置；并配备个人防静电防护用品。 HG2057195 √ 设消除静电离子发生器。 7 消防、报警设施 建筑灭火器的配置应按《建筑灭火器配 置设计规范》的有关规定执行。 GBJ1687 √ 洁净室及技术夹层应设置自动灭火系统。 SJ3000292 √ 生产厂房应设置火灾自动报警检测 系统。 SJ3000292 GB1280191 √ 储存、使用易燃易爆物质的生产区、硅烷室、易燃气体室等应设置可燃气体监测报警装置、事故排风及防爆设施。 GBJ1687 SJ3000292 √ 设作业环境监测报警系统。 洁净厂房、有毒、易燃气瓶间等可能散发可燃、可爆和有毒、有害气体的场所应设置各种可燃、有毒、有害气体检漏报警装置。 SJ3000292 √ 设置不同类型报警装置。 8 气瓶安全使用 使用气瓶应： 采购和使用有制造许可证的企业的合格产品，不使用超期未检的气瓶。 必须到已办理充装注册的单位或经销注册的单位购气。 气瓶使用前应进行安全状况检查，对盛装气体进行确认。 气瓶放置地点不得靠近热源和明火，应保证气瓶干燥。 气瓶立放时，应采取防止倾倒的措施； 夏季应防止爆晒； 严禁敲击、碰撞； 严禁在气瓶上进行电焊引弧； 瓶内气体不得用尽，必须留有剩余压力或重量，氢气瓶剩余压力应不小于。 气瓶安全监察规程 第 79 条 √ 各项措施齐备，剩余 压 力 小 于 自 动 切换。 磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆气体钢 SJ3000292 √ 长期通风。 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 瓶，必须放置在设有排风防护装置的金属柜内。 不工作时，应有自动定时排风系统。 9 安全标志 凡容易发生事故危及安全的场所，应设置安全标志，必要处尚应设置声、光、色或声、光结合的紧急警告信号。 SJ3000292 √ 机台、气柜等均设。