ut光刻机报警灯设计与安装毕业论文(编辑修改稿)

ut光刻机报警灯设计与安装毕业论文(编辑修改稿)内容摘要：

C：优化性能比较：提高了响应时间 优化后 性能规格合格，实际方案已经固化。 后续剩余所有 UT STEP 光刻 机报警安装计划都采用最终的优化方案。 UT1100 报警响应时间 绿灯常亮：设备状态发生 设备正常作业 报警响应时间 立即 绿灯闪亮：设备状态发生 设备作业结束 报警响应时间 6 秒内 红灯常亮：设备状态发生 AUTOLOAD 传输报警 报警响应时间 立即 红灯闪亮：设备状态发生 Z MODE 报警 报警响应时间 3 秒内 黄灯常亮：设备状态发生 设备 IDLE 报警响应时间 立即 黄灯闪亮：设备状态发生 工作控制器异 常报警 报警响应时间 6 秒内 （论文） 10 第四 阶段 选型 1. stage 设置 wafer VAC sensor（载台圆片真空传感器） 真空传感器的工作原理是介质的 压力 直接作用在传感器的 膜片 上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感 器的 电阻 发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。 传感器：能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。 通常有敏感元件和转换元件组成。 ① 敏感元件是指传感器中能直接（或响应）被测量的部分。 ② 转换元件指传感器中能较敏感元件感受（或响应）的北侧量转换成是与传输和（或）测量的电信号部分。 ③ 当输出为规定的标准信号时，则称 . 测量范围： 在允许误差限内被测量值的范围。 量程：测量范围上限值和下限值的代数差。 精确度：被测量的测量结果与真值间的一致程度。 从复性：在所有下述条件下，对同一被测的量进行多次连续测量所得结果之间的符合程度：分辨力：传感器在规定测量范围圆可能检测出的被测量的最小变化量。 阈值：能使传感器输出端产生可测变化量的被测量的最小变化量。 使输出的绝对值为最小的状态，例如平衡状态。 激励：为使传感器正常工作而施加的外部能量（电压或电流）。 最大激励：在市内条件下，能够施加到传感器上的激励电压或电流的最大值。 输入阻抗：在输出端短路时，传感器输 入的端测得的阻抗。 输出：有传感器产生的与外加被测量成函数关系的电量。 输出阻抗：在输入端短路时，传感器输出端测得的阻抗。 零点输出：在市内条件下，所加被测量为零时传感器的输出。 滞后：在规定的范围内，当被测量值增加和减少时，输出（论文） 11 中出现的最大差值。 迟后：输出信号变化相对于输入信号变化的时间延迟。 漂移：在一定的时间间隔内，传感器输出终于被测量无关的不需要的变化量。 零点漂移：在规定的时间间隔及室内条件下零点输出时的变化。 灵敏度：传感器输出量的增量与相应的输入量增量之比。 灵敏度漂移：由于灵敏度的变化而引起的校准曲线斜率的 变化。 热灵敏度漂移：由于灵敏度的变化而引起的灵敏度漂移。 热零点漂移：由于周围温度变化而引起的零点漂移。 线性度：校准曲线与某一规定只限一致的程度。 菲线性度：校准曲线与某一规定直线偏离的程度。 长期稳定性：传感器在规定的时间内仍能保持不超过允许误差的能力。 固有凭率：在无阻力时，传感器的自由（不加外力）振荡凭率。 响应：输出 时被测量变化的特性。 补偿温度范围：使传感器保持量程和规定极限内的零平衡所补偿的温度范围。 蠕变：当被测量机器多有环境条件保持恒定时，在规定时间内输出量的变化。 绝缘电阻：如无其他规定，指在室温条件下施加规定的直流电压时，从传感器规定绝缘部分之间测得的电阻值。 2. 设备曝光路设置光感 sensor switch 光感电路有多种形式，如自锁亮激发、暗激发及精密亮激发、暗激发等等，是一种简单的暗激发继电器开关电路。 其工作原理是：当照度下降到设置值时由于光敏电阻阻值上升激发 VT1 导通， VT2 的激励电流使继电器工作，常 开触点闭合，常闭触点断开，实现对外电路的控制。 3. 设备出片端 index安装设置 cassette 漫反射 switch 光电开关是 传感器 的一种，它把发射端和接收端之间光的强弱变化转化为（论文） 12 电流的变化以达到探测的目的。 由于光电开关输出回路和输入回路是电隔离的（即电缘绝），所以它可以在许多场合得到应用 .。 下列场所，一般有可能造成光电开关的误动作，应尽量避开： （ 1）灰尘较多的场所 ；（ 2）腐蚀性气体较多的场所；（ 3）水、油、化学品有可能直接飞溅的场所；（ 4）户外或太阳光等有强光直射而无遮光措施的场所；（ 5）环境温度变化超出产品规定范围的场所；（ 6）振动、冲击大，而未采取避震措施的场所。 4. Wafer ready 触发 coupler sensor监测设备传输异常 夏普 pc817 是常用的线性光藕，广泛用在电脑终端机，可控硅系统设备，测量仪器，影印机，自动售票，家用电器，如风扇，加热器等电路之间的信号传输，常常在各种要求比较精密的功能电路中被当作耦合器件，具有上下级电路完全隔离的作用 ，相互不产生影响。 使之前端与负载完全隔离，目的在于增加安全性，减小电路干扰，减化电路设计。 5. 18D20温控集成电路 DS18B20 的读写时序和测温原理与 DS1820 相同，只是得到的温度值的位数因分辨率不同而不同，且温度转换时的延时时间由 2s 减为 750ms。 DS18B20测温原理如图 3 所示。 图中低温度系数晶振的振荡频。