用于流体压力测量的电容传感器内容摘要：
高次小量，得： 由式 (9)可知：电容的变化量 ΔC与压力 P成线性关系。 2 压力传感器 电容压力传感器结构简单，灵敏度高、动态响应快，不足之处是存在非线性。 为了尽可能地减小非线性误差，制作电容传感器时，采取了以下主要措施： (1)工艺方面，在玻璃上蒸镀一层金属膜片作为电容电极，目的是消除电容极板的变形，保证极板有很好的平面度。 (2)敏感膜片采用白宝石，因为白宝石是绝缘体，应变与应力呈线性关系，稳定性好。 (3)用敏感膜片中心位置的最大挠度作为可动极板的位移，减小理论性误差。 (4)在结构方面，采用差动形式，既提高了灵敏度，又减小了非线性误差。 由式 (9)可得，电容传感器的灵敏度系数为 3 检测电路 为了能 检测出电容的变化量 ΔC，检测电路采用双 T型交流电桥，如。阅读剩余 0%
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