無塵室管理要點

無塵室管理要點内容摘要：

物品表面之清淨度為要。 如上述物品沒有達到規定之清淨度，必須附備清淨裝置，因此視其需要 ，要裝有清淨裝置之 AIR LOCK。 原則上 AIR LOCK 內不可放置任何物品。 定期按照規定之方法做地面 、 壁 、 門 、天 花板之清潔工作。 並依照（無塵室內之監視方法）之規定定期測試室內壓力及清淨度。 確認有無維持規定之條件。 對無塵室之器材搬入與搬出 一般而言應遵守下列 5項原則： 、 備品 、 工具 、 設備應維持在最小限度，並要完全清潔後始可搬入。 ，然要搬入前應先清潔容器外表。 或用雙重包裝時搬入前提時）先取開外層包裝後再搬入也可以。 ，故盡量利用傳遞箱（ PASS BOX）或預備室（ AIR LOCK ROOM）。 ，為避免影響到無塵室內之氣流狀態及清淨，盡量利用預備室（ AIR LOCK ROOM），並避免在作業中搬入上述大型器材。 ，等要搬出無塵室時，須經過傳遞箱（ PASS BOX），以防止外面空氣之侵入，及門之開閉時產生之室內氣流之流失與發塵至最小限度。 搬器材進入無塵室之清潔方法 種類，物品之形狀 、 構造 、 材料 、 所要求之清淨度而由專業人員決定。 （ a） 搬大型物品進入無塵室時事先在一般環境之污染區域以壓縮空氣或普通真空吸塵器做初次清潔，然後在次清淨室使用無塵室內專用真空吸塵器或以擦拭方法施以必要之清潔。 8 （ b） 無塵室內用之所有小物品應遵照專業人員指示在次清淨室內依照計劃之時間，以擦拭 、 或超音波洗滌方法完全清潔後放入經清潔之搬運箱搬入。 ，則在無塵室內裝設清潔用設備，並對此設備施以局部排氣以免污染室內。 無塵室至監（ MONITORING IN CLEAN ROOM） 氣流 （ AIR FLOW PATTERN）是否符合設計之要求，須做氣流測試確認。 （ TUFT METHOD）法。 ，每年最少做 1次並記錄結果。 ，檢討並判斷現狀是否符會設計條件。 風速 （ AIRFLOW PATTERN）是否符合規 定。 JIS T8203（攜帶用熱式風速計）規定或同等品。 HEPA FILTER 之代表點之外，應在專業人員決定之位置及高度施行，而每個月 1次以上之頻度行之並做記錄。 ，並檢討現狀是否符合設計要求。 風量 ，由風速測試結果計算之。 （ 2）之規定。 ，但也可以在各 HEPA FILTER 之代表點測 9 試。 測試方方法 、 測試須度，由該專業人員決定並做記錄。 求。 空氣壓 壓，高清淨度室空氣壓應比次清淨度室略高，以免被污染之空氣侵入高清淨度室內。 （ ）之壓計或可代替之測試儀器為準。 始前及作業終了後施行並記錄，但必要時要隨時測試並記錄。 ，並檢討現狀是否符會設計條件。 室溫與相對濕度 （ PROCESS）之影響與對作業人員之舒適性，並是否與設計條件符合。 ，原則上使用 ASSMANN 通風式乾濕球溫度計或有相同性能之其他乾濕球溫度計如手搖式（ SLING PSYCHROMETER）者。 ，並由其人員決定測試之位置與高度。 作業開始前及作業終了後施行並做記錄，但必要時須隨時測試並做記錄。 ，須由專業人員根據 （空氣清淨度之測試須頻度）之規定測試與記錄。 ，為了感知急激之溫度變化，須裝設自動溫度警報裝置。 必要時須在適當之位置裝設警報裝置以便空調系統發生異常情況時可立即發出警報。 10。 空氣清淨度之測試頻度 CLASS 5 以下 5以上 測試頻度 每月 1次 每 3個月 1次 空氣之清淨度 （ PROCESS）甚鉅，故必須按時測試浮游微粒子，濃度以檢查是否符合規定。 JIS B9221（光散亂式粒子計數器）所規定者或有同等性能之儀器。 ，另者測試對象粒徑也應由該專業人員決定。 JIS B9920 (無 塵室中浮游微粒子測試方法 )規定依表 51之頻度施行並做記錄。 （備註）測試時，其空氣體積總量不管是繼 續或 ?續須達到 10‾179。 M179。 ，如可預期粒子個數濃 度將超過 50010179。 個／ M 時，在其濃度附近之計數值範圍內可減少測試空氣總體積，但 不可低於 10‾179。 M179。 ，原則上也應一年做一次查漏試驗。 另者 U。