世界各国纳米三坐标测量机(编辑修改稿)内容摘要：
Small CMM (SCMM) Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan (NPL) — Small CMM (SCMM) 国内外研究概况 (NPL) — Small CMM (SCMM) Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan Source： 1. Annals of the CIRP Vol. 47/1/1998 ， 2. Annals of the CIRP 3. Proc. Of 16th ASPE ， 4. Note : Philips CFT 100*100*40 mm , Uncertainty 50nm (20xx/8 News) 荷兰 Eindhoven大学的 高精度 3DCMM 测量范围 : 100*100*100 mm 线性步进压电马达 +光栅尺 MEMS 探头直径 : 测量不确定度 : 50nm Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan MEMS 探头 E : elastic elements B : frame bars (stiff) S :Piezo amp。 strain。阅读剩余 0%
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