第六章电子束和离子束加工内容摘要：
如在硅片上刻出宽 、深 ，在混合电路电阻的金属镀层上刻出 40 微米宽的线条。 12 第六章 电子束和离子束加工 （四）焊接 电子束焊接是利用电子束作为热源的一种焊接工艺。 由于电子束的能量密度高，焊接速度快，所以电子束焊接的焊缝深而窄，热影响区小，变形小。 电子束焊接一般不用焊条，焊接过程在真空中进行，因此焊缝化学成分纯净， 焊接接头的强度往往高于母材。 电子束焊接可以焊接难熔金属如钽、铌、钼等，也可焊接钛、锆、铀等化学性能活泼的金属。 它 可焊接很薄工件，也可焊接几百毫米厚的工件。 电子束焊接还能完成一般焊接方法难以实现的异种金属焊接。 如铜和不锈钢的焊接，钢和硬质合金的焊接， 13 第六章 电子束和离子束加工 （五）热处理 电子束热处理也是把电子束作为热源．但适当控制电子束的功率密度．使金属表面加热而不熔化，达到热处理的目的。 电子束热处理在真空中进行，可以防止材料氧化。 （ 六）光刻 电子束光刻先利用低功率的电子束照射高分子材料，由入射电子束与高分子相碰撞，经电子曝光后，在高分子材料中留下潜像。 14 第六章 电子束和离子束加工 15 第六章 电子束和离子束加工 离子束加工 （ ion beam machining， IBM） 一、原理、分类和特点 离子束加工是在真空条件下利用离子源（离子枪）产生的离子经加速聚焦形成高能的离子束流投射到工件表面，使材料变形、破坏、分离以达到加工目的。 因为离子带正电荷且质量是电子的千万倍，且加速到较高速度时，具有比电子束大得多的撞击动能，因此，离子束撞击工件将引起变形、分离、破坏等机械作用，而不像电子束是通过热效应进行加工。 16 第六章 电子束和离子束加工 离子束。阅读剩余 0%
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