用椭圆偏振仪测量薄膜厚度内容摘要：
r2p=tan(φ2φ3)/tan(φ2+φ3), r2s =sin (φ2φ3)/ sin(φ2+φ3) 即著名的菲涅尔（ Fresnel） 反射系数公式． 如果能从实验中测出 ψ和 Δ的值，原则上就可以算出薄膜的折射率 n2和厚度 d．这就是椭圆偏振法测量的基本原理 实验仪器 椭圆偏振仪 实验内容 （ 1）接通激光电源和硅光电池电源，在样品台上放好被测样品，将手轮转至“目视”位置，从观察窗看光束，调节平台高度调节钮，使观察窗中的光点最亮最圆。 （ 2）调节好样品态后，转动起偏器刻度盘手轮，目测光强变化，当光强最小时，起偏器位置保持不动。 （ 3）转动检偏器刻度盘手轮，目测光强变化，当光强最小时，检偏器位置保持不动。 （ 4）此时将观察窗盖严，然后将转镜手轮转到光电接收位置，观察放大器指示表（ 1011），反复交替微调起偏器、检偏器手轮，使表的示值最小（对应消光）。 （ 5）从起偏器刻度盘及游标盘上读出起。阅读剩余 0%
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