[电脑基础知识]洁净厂房空调净化系统验证方案rd

[电脑基础知识]洁净厂房空调净化系统验证方案rd内容摘要：

压箱内。 对于层流工作台可直接放在风机的吸入口。 立即用气溶胶光度计的采样头扫描过滤器的出风侧。 采样头离过滤器距离约 2cm，沿过滤器内边框等巡检，扫描速度应低于 5cm／秒。 当光度计读数超过过滤器出厂合格率的 2倍时，表明泄漏量超标，需要修补或更换。 如有泄漏，单个泄露处的面积不能大于总面积的 1％，全部泄露处的面积不能大于总面积的 5％，不符合规定必须按要求更换。 漏点修补，用环氧树脂胶堵漏点或紧固调整螺栓、更换密封垫后，再进行巡检扫描。 可接受标准：高效过滤器的穿透 率不得过 ％。 检测频度：在安装或更换高效过滤器时应进行检测。 正常使用情况下，每年至少检测一次。 检查及评价结果：见 IQ附表 6《高效过滤器检漏记录》 第 18 页 共 69 页 、空气消毒设施的安装确认 空气净化系统采用臭氧气体消毒方式对生产环净空气进行消毒。 目的：确认臭氧发生器正常工作后臭氧生成量能够达到空间消毒浓度（≥ 10ppm）所需要选择的臭氧发生器规格，并确定臭氧消毒时间及臭氧消毒后自净时间。 可接受标准：本公司所选用的臭氧发生器规格理论上符合要求，臭氧发生器安装符合要求。 臭氧发生器规格计算 ：洁净区臭氧消毒时间和臭氧消毒后自净时间确定计算公式如下： (V1+V2+V3)179。 C W= (1S) W臭氧发生器功率 (g/h) V1洁净室体积 V2风管体积 V3新风体积 (循环系统总风量179。 %) C臭氧消毒最低浓度 (10179。 106) S— 臭 氧衰退率 %/h （ 10179。 106 m179。 /m179。 ）179。 1000179。 48g/mol C= =179。 检查及评价结果：见 IQ 附表 7《消毒设施安装确认记录》。 、 安装确认结论： 评价人： 日期： 、运行确认 (OQ) 目的：运行确认是在设备运行状态下，对空调机组的传动系统、电气部分、动力管线、计量器具等进行检查，并将实际检测结果与工艺要求及设备设计参数进行对比，并根据对比结果总结该设备的运行确认。 目的是为证明空调净化系统是否达到设计要求及生产工艺要求。 在运行确认阶段，所有的空调设备必须开动，与空调系统有关的工艺排风机也必须开动，以利于空气平衡，调节房间的压力。 、空调净化系统运行确认的主要内容 通过关键部件（参数）失效模式风险评估确定需在运行确认（ OQ）中确认的项目如下：空调机组运行的确认，高效过滤器的风 速及 A级区气流流型测定（主要指单向流）、 C级区气流组织的确认，空调调试和空气平衡 (风量及换气次数、房间静压差、温度与相对湿度的测试 )确认， 第 19 页 共 69 页 自净时间、臭氧浓度均匀分布的确认；空调机组故障报警系统、温湿度超标控制系统、中效压差超标报警系统、灌封洁净室压差在线监测及超标报警系统及 A级区风速、悬浮粒子在线监测及数据超标报警系统的确认。 、空调机组（主要是空调器及风管）的运行确认 目的：确认开机运行是否正常。 程序及标准 : ①设备的润滑：检查设备用润滑的部位，轴承处充填 3钙基润滑脂； ②点动试车： 快速开、停车两次，转动部分转动灵活，无碰擦，无异常声音； ③传动系统的检测：点动试车无异常后，开动电机空车运转 4小时运转稳定，无异常声音，待运转平稳后，连续运行 4小时以上，无异常情况发生； ④电机运转情况的检查：使用电压表、电流表测量电机运转状态下的电压、电流，电压实测值与额定值的差别在 5%之内，负载电流以实测值不超过额定值； ⑤密闭性检查：机体各部分及各焊缝无漏气现象； 检查及评价结果：见 OQ附表 1《空调机组运行确认表》。 、高效过滤器风速测试（该项检测委托杭州神舟洁净空气检测有限公司进行检 测） 目的：对单向流（层流）区域（ A级区）空气流动状态进行测试，本方案系指 FFU层流罩下出风口的截面送风速度。 程序： A、测试仪器：风速仪和测定支架 B、测点布置： 测试点为距离层流罩 2cm的平面，每块隔板 5个点，检测要求每个点的测试结果均应合格。 检测单向流风速时，风速仪探头与风流流向垂直，检测时应尽量伸长手臂，使检测仪远离身体，以免受到干扰。 C. 测试方法：用风速仪在层流罩出口 2mm处，测定风速。 D、数据处理：按不同位置记录测定值，计算平均风速。 E、测试注意事项：测试时应用测定架固定风速仪以免人体 干扰，不得不用手持风速仪测定时，手背应伸至最长位置，尽量使人体远离测试头。 可接受标准 ： 出口处的面风速应≥ ；一般控制在 ～。 检查及评价结果：见 OQ附表 3《高效过滤器风速、气流流型及气流组织检测报告》 、 A级区气流流型和 C级区气流组织测试（该项检测委托杭州神舟洁净空气检测有限公司进行检测） 目的：确认在洁净室层流及乱流的洁净空气保护下，气流与机械设备的相互作用，选择或 第 20 页 共 69 页 改善气流流型，使之产生最小的湍流和最大的清除能力。 程序： A、检测仪器：发烟器，风速仪、照 相机。 B、测点布置：洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各 1个，剖面上测点间距为 ～ ，水平面上的测点间距为 ～ lm，两个风口之间的中线上应有测点。 测试洁净间选择 A级区、 A级送风区、 C级浓配洁净间、 C级稀配洁净间、 C级灌封间。 C、测试条件要求：检测应在空气净化调节系统或层流净化装置正常运行并使气流稳定后进行；送风口或层流净化装置的风速符合规定要求；洁净室压差符合规定要求。 D、测试方法： 用发烟器在规定的测点以及“典型位置” (产品或原料在工作环境中暴露的上方及四周 等 )放置，并随气流形成可见的烟雾流线。 逐点观察、记录气流流型，并在测点布置的剖面图上标出流向。 当烟雾流过“典型位置”时拍摄下流线。 烟雾应能够流经这些“典型位置”，而不因空气的湍流造成回流。 否则应对空气净化调节系统、设备位置或物料摆放位置进行调整。 在操作人员进入层流保护区内进行操作时摄下流线。 操作时烟雾应不会回流到“典型位置”的任何一点，否则必须建立防止污染的规程或措施。 可接受标准： A级洁净高效过滤器气流流型符合单向流要求、 C 级洁净区符合乱流要求。 检查及评价结果：见 OQ附表 3《高效过滤器风速、气流流型 及气流组织检测报告》。 、风量测定及换气次数的测试 本确认方案测定房间送风口的风量，在检测前，必须首先检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍 (如过滤器有无被堵、挡 )，所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必须实际测量被测风口、风管尺寸。 目的：通过测定确认风量及换气次数是否符合要求。 程序： A、测试仪器：风量罩。 B、计算公式：室内总风量： L=该室各风口平均风速 (m/s) 179。 室内风口截面积 F(m2) 179。 3600s。 C、测试方法：按《洁净室施工及验收规范》采用风口法或风管 法测定送风口风量。 D、计算公式： 室内总风量： L=该室各风口平均风速 (m/s) 179。 室内风口截面积 F(m2) 179。 3600s。 换气次数的计算： HA LLLN n  21 （次 /h） 第 21 页 共 69 页 式中 L1， L2，„， Ln： 房间各送风口的风量， m179。 /h； A: 房间面积， m2； H: 房间高度， m。 可接受标准： ①总风量接受标准： 洁净室 系统实测风量 总实测新风量 各风口的风量 C 级 在设计风量的 100%～ 120%之间 在设计新风量的 90%～ 110%之间 在各自设计 风量的85%～ 115%之间 A 级 在设计新风量的 90%～ 110%之间 ②换气次数接受标准： C：≥ 25 次 / h。 检查及评价结果：见 OQ附表 4《洁净室风量及换气次数测试记录》。 、房间静压差测定 目的：在风量测定之后，查明洁净室和邻室之间是否保持必须的正压或负压，从而知道空气的流向。 确认与设计的压差梯度是否一致。 根据车间风速风量测定和压差调节确定正常条件下空调风机运行频率。 根据测定结果调整空调系统，使各房间静压差符合设计标准要求。 程序： A、测试仪器：微压计。 B、测 试条件要求：测定前应将所有的门都关闭，并开启房间中的排风机，在最大排风量条件下进行；测试时所有的空调系统和层流系统应处于连续的运行状态，不允许有人穿越房间；为避免压力出现不必要的变化，测试状态应固定，并应从平面上最里面的房间依次向外测定。 C、测量方法：按仪器使用说明书执行。 将 U 型管或微压表安装在墙壁上，可随时观察压力变化情况，并读数记录。 可接受标准：相邻不同级别空间的静压差绝对值应≥ 10Pa(1mmH20)；洁净级别要求高的区域对相邻的洁净级别要求低的区域呈相对正压；洁净室与室外的压差应≥ 10Pa(1mmH20) ；压差梯度原设计方案一致。 称量室、产尘间与相邻房间保持相对负压。 检查及评价结果：见 OQ附表 5《洁净区相对压差测试记录》 、房间温度与湿度测定 目的：是确认 HVAC 系统具有将洁净厂房温度、相对湿度控制在设计要求范围内的能力。 温、湿度测定应在风量风压调整后进行。 第 22 页 共 69 页 程序： A、测试仪器： 微环境监测仪 B、测点分布：温度、相对湿度的测点应放在工作区或洁净室的相对远点，所有测点宜在同一高度，离地面。 C、测试方法：按《洁净室施工及验收规范》进行测定。 测试应空气平衡结束后进行。 在 温、湿度计在测试前应经校正合格。 测试前，空调系统连续运行 1小时以上。 测量和记录温度、湿度应按不同的房间、测点不同的要求进行。 监测记录频率：确认时，每个房间的每个测量点， 4 次 /小时。 测点数的确定： 波动范围 室面积≤ 30m2 每增加 20～ 40m2 177。 0． 5～177。 2℃ 177。 5～177。 10%RH 1 增加 1 可接受标准：空调系统在规定的运行期间，在全年温度变化的情况下，应能够将洁净厂房温度维持在 18～ 、相对湿度控制在 45～ 65％，或根据产品需要指定的温度范围。 在洁净厂房温度和相对湿度的监测过程中，若 发现结果超出规定的范围，应及时检查原因，必要时对空调系统进行调整。 洁净厂房温湿度的检测以及根据检测结果对空调系统进行的调整应记录归档。 检查及评价结果：见 OQ附表 6《洁净室温度、相对湿度检测记录》。 、自净时间测试 目的：确认系统在受到来自内部的污染后恢复标准要求的洁净度的能力。 从而判断洁净室的动态性能。 程序： A、测试仪器： Y09310激光尘埃粒子计数器 B、测试方法： 以生产结束时的动态空间含尘浓度作为基准，在工作区平面的中心点测定含尘浓度（ N0），立即开机运行并计时，定时（如每 1分 钟）读数，直至浓度达到静态浓度要求时（ N）为止，以这一段时间为实测自净时间。 可接受标准：不超过设计自净时间 2分钟（参考值为不大于 20分钟）。 选换气次数、风速、风量相对较差的房间和关键控制的进行自净确认。 检查及评价结果：见 OQ附表 7《洁净室自净时间测试记录》。 、洁净环境臭氧消毒浓度检测 第 23 页 共 69 页 目的：确认开启臭氧发生器一段时间后洁净区臭氧浓度能够达到 10ppm，并且各洁净间臭氧浓度分布均匀。 程序： A、 测试器材：真空式手动采样器。 B、 测试原理 ： 检测管测试采用化学比色原理，直读分析数据。 C、 臭氧浓度测试方法： a、割断检测管的两端封口，将检测管插在采样器的进气口上，将采样器手柄拉至第二档位采样 100ml，待检测管中指示剂变色终止，即可从白色柱所致刻度，读出臭氧体积浓度 (ppm)数据。 b、臭氧检测浓度单位 mg/m179。 与 ppm的关系及换算公式 质量浓度（ mg/m179。 ） =臭氧 分子量 （ M） /(标准状态下气体的 摩尔体积 B)体积浓度 (ppm) （ 273/(273+T)） Ba/101325） c、每一测试点应同时测试两个平行样；从臭氧发生器开启 60min 后依次测试。 d、测试时检测人员应戴防毒口 罩，防止臭氧中毒。 D、 测试地点：选取关键房间（ 灌封间、稀配间等 ）进行测试。 检查及评价结果：见 OQ附表 8《臭氧浓度检测记录》。 、空调机组故障报警系统、温湿度超标控制系统、中效压差超标报警系统、洗灌封洁净区压差超标报警系统、 A级区悬浮粒子、风速在线监测及超标报警系统的运行确认 目的 :确定空调净化系统安装的在线监测及报警。