mdc360中文手册

mdc360中文手册内容摘要：

概括描述 Purpose 目的 MDC360 层蒸镀控制仪具备全自动、单层或多层蒸镀控制功能。 通过可靠的数字信号程控，可用于批量生产或实验室研发以提高膜系特性的重复及可预测性。 该设备具有功能强大的自我检测系统，在自动运行模式过程中 ,虽在传感器晶片失效情况下仍可无需人为操作完成预设镀膜程序 .运行限制条件与中止功能可由操作员设定 . Feature 性能 得益于半导体技术的快速发展及低成本的微处理器的进度。 MDC360具备多项经济实用的性能。 Extensive Program Storage 充足的程序储 存库 MDC360 具有可储存 99 套运行程序， 999 种膜层定义 及 32 种完整的材料定义。 当程序输入后，可在不需要外接 电源状态下至少存储 5 年。 Dynamic measurement Update Rate 动态检测更新速率 动态检测是由 至 10Hz（赫兹）之间调整，使之达到 最佳分辨率及控制。 Superior Graphics Display优良的图象显示 MDC360 配备了 256 64 像素液晶图象显示器使之具 备重要数据的 即时显示；例如速率、速率偏离、膜厚及功率。 Program Security 程序安全 MDC360 配备了密码编辑功能，以保证已储存的程序 的完整及不被其他人随意改动。 Designed for Unattended Operation 运行过程无需人为介入的设计。 MDC360 已具备真正的全自动运行至程序结束功能，并且合并了功能强大的内在监测及超越异常中断线路使异常中断的可能性将至最低。 另外，需注意的是，报警的音量可以根据故 障和程序操作员的需要来调整。 Fail Safe Aborts 安全故障中止 在运行过程中如果出现故障，如自控无法满足， MDC360 将中止程序运行，并且关闭所有输出。 同时， MDC360 还提供给操作者能够中止速率控制错误或晶片故障时的途经。 Abort Status Retention 保持程序中断状态 当 MDC360 中断蒸镀运行时，相关的运行信息将被储存起来。 待故障排除后，被中止了的蒸镀运行将可继续运行。 Run Completion On crystal Failure 晶片失效时完成运行 MDC360 的内在监测与中止运行功能是为了保护镀膜安全，以及避免设备在运行过程中发生严重故障。 运行过程中，晶片失效属于例外情况，可以不必中止运行程序。 在此状态下， MDC360 可以设定为中止运行，但也可以设定为转换备用晶片或以时间 /功率方式继续进行。 Powerful system Interface 高性能系统界面 完全可程序化的、独立的输入和输出使 MDC360 很容易使镀膜系统界面组 合以控制最复杂的运行过程。 同时，为避免接地回路故障，源极控制输出是完全独立绝缘的。 MDC360 还支持并接收光学镀膜仪的光学膜厚终止信号。 Power Supply Noise Tolerance 电源干扰公差 完整的 RFI 滤波器与大容量的电器将可容许至 700ms(毫秒 )以下的电源中断及高强度干扰而继续工作。 International Standard Power Connector 国际标准电源接头 电源接头是经过国际认证及符合 IEC(国际电器技术协会 )标准。 输入电源可选择 100 至 240 伏、 50 或 60 赫兹，并配备了高性能 RFI 干扰过滤器。 Field Upgradable 现场性能提升 插入式界面板和选项板可以使基础设备个体在工作现场升级至系统最高级别。 Specification 技术指标 Measurement 测量 Frequency Resolution 频率分辨率 Mass Resolution 质量分辨率 ng / ㎝ 2 Thickness Accuracy 厚度精确性 % + 1 count Measurement Update Rate 测量修正、更新率 到 10Hz 自动调节 Display Update Rate 显示修正、更新率 10Hz Sensor Crystal Frequency 传感器晶片频率 ,3,5,6,9,10 MHz Display 显示 Thickness Display 膜厚显示 Auto ranging: to 自动范围： 至 千埃 Rate Display 速率显示 Auto ranging: to 999197。 /sec 自动范围： 至 999 埃 /秒 Power Display 功率显示 to 99 % Time to Go 尚需时间 0 to 9:59:59 H:MM:SS 小时：分钟：秒钟 Crystal Health % 晶体寿命 0 to 99% Layer Number 膜层序数 1 to 999 Graphics Display 图象显示 256X64 LCD with CCFL back lighting 带 CCFL背光的 LCD Communication 通讯 RS232 serial port standard 标准串行接口 RS485 serial port optional 可选择的 RS485 串行接口 IEEE488 bus interface optional 可选择的 IEEE488 信息通路界面接口 Program Storage Capacity 程序储存能力 Process 运行程序 99， use definable 可由使用者定义 的 Layer 膜层 999， use definable 可由使用者定义的 Material 材料 32， use definable 可由使用者定义的 Process Parameters 程序参数 Process Name 运行程序名称 12 Character string 12 字母系列 Edit password 编辑密码 4 Character string 4 字母系列 Run / View Password 运行、查看密码 4 Character string 4 字母 系列 Layer 1 to 99 膜层 Material name, Thickness 材料名称、厚度 Material Parameters 材料参数 Material Name 材料名称 10 Character string 10 字母字列 Sensor 传感器 1 to 4 Crystal 晶片 1 to 8 Source 源极 1 to 4 Pocket 坩埚 1 to 8 Material Density 材料密度 to gm/㎝ 3 克米 /立方厘米 Acoustic Impedance 声波阻抗 to gm/㎝ 2 sec 克米 /平方厘米 秒 Tooling Factor 修正系数 to % Proportional gain 比例增益 0 to 9999 Integral Time constant 积分时间系数 0 to sec Derivative Time constant 微分时间系数 0 to sec Rise to Soak Time 上升至保持时间 0 to 9:59:59 H:MM:SS 小时：分钟：秒钟 Sock Power 保持功率 0 to 99% Soak Time 保持时间 0 to 9:59:59 Rise to Predeposit Time 上升预蒸镀时段 0 to 9:59:59 Predeposit Power 预蒸镀功率 0 to % Predeposit time 预蒸镀时段 0 to 9:59:59 Rate Establish Error 速 率确定误差 0 to 99% Deposition Rate(1 to 5) 蒸镀速率 to 197。 /sec 埃 /秒 Rate Ramp Start(1 to 4) 速率攀升 /下降开始 to K197。 千埃 Rate Ramp Stop(1 to 4) 速率攀升 /下降停止 to K197。 千埃 Time Setpoint 时间设定 0 to 9:59:59 0 至 9 小时 59 分 59 秒 Ramp to Feed Time 攀升 /下降伺服时间 0 to 9:59:59 0 至 9 小时 59 分 59 秒 Feed Power 伺服功率 0 to % Feed Time 伺服时间 0 to 9:59:59 Ramp to Idle Time 下降至停顿时间 0 to 9:59:59 Idle Power 停顿功率 0 to % Maximum Power 最大功率 0 to % Power alarm Delay 功率警报延迟 0 to 99 sec Minimum Power 最小功率 0 to % Rate Deviation Attention 速率偏离关注 0 to % Rate Deviation Alarm 速率偏离警报 0 to % Rate Deviation Abort 速率偏离中止 0 to %0 to % Sample Dwell % 采样驻留 0 to % Sample Period 采样周期 0 to 9:59:59 Crystal Fail 晶片失效 Switch, Time Power, or Halt 转换，功率定时，或暂停 Backup Sensor 备用传感器 1 to 4 Backup Crystal 备用晶片 1 to 8 Backup Tooling Factor 备用修正系数 0 to % Material Password 材料密码 4 character string 4 字母系列 MDC360 装有材料数据库，其中包括许多常用材料名称，它们的密度与声阻抗数据。 Input / Output Capability 输入 /输出范围 Sensor Input 传感器输入 2 Standard 2 optional BNC Inputs 2 标准输入和 2 可选择的 BNC 输入 Source Outputs 源极输出 2 Standard 2 optional fully isolated, , 5, 10 VOLTS@ 20ma. % resolution 完全绝缘的 2标准输出和 2可选择的输出 ， 5， 10 伏， 20 毫安， %分辨率 Discrete Input 可编程分立输入 8 Standard and 8 optional fully programmable inputs The passive I/O card (PN179216) has TTL level inputs activated by a short across the inputs pins. The active I/O card (PN179239) has inputs activated by 12 to 120 volts AC/dc across the input pins. Discrete Output 可编程分立输出 8 standard and 8 optional full programmable, SPST relay, 120VA, 2A max. 8 标准输出和 8 可选择输出。 SPST继电器， 120 伏， 2 安培 Abort Output 1 standard and 1 optional SPST Relay, 中止输出 120VA, 2A max. 1 标准输出和 1 可选择输出。 SPST继电器， 120 伏， 2 安培 Remote Power Handset 手提式功率遥控器 Front panel, RJH jack. 前面板 RJH 插座。