多晶铸锭生产工艺文件内容摘要：
5177。 2） LPM （ 炉体下腔和下部 ） F8：（ 9177。 2） LPM （ 机械泵和总阀 ） 开始铸锭 将 装 有硅料的坩埚放到 定向凝固 块上 ： 注意：坩埚的位臵要处于 定向凝固块 块的正中央，距 定向凝固块 块周围的距离 左右 ，误差不 要 超过 2mm（特殊交代除外）。 对炉子进行手动抽真空检漏。 确定绝热笼的 位臵，其位臵是以腔体下边 沿 为零点。 铸锭 开始前，校准 隔 热笼的位臵。 一般在未关机的情况下，绝热笼的位臵不 需 要校准。 5 调入程序：首先从 “ 模式 ” 下 选择所需工艺配方 ， 点击“确定工艺”，接着点击“执行 /下载修改工艺”，然后点击 “自动运行”，此时，系统进入“初始检查窗口”，则程序开始自动运行， 进入自动运行阶段。 如果是 手动模式下抽真空，应首先确认真空模式，然后用鼠标点击机械泵开关，此时机械泵开启。 当压强降到 10mbar 以下，罗茨泵自动开启，将压强降到 （这个过程的时间大约 1 小时）。 当压强降到 后，关掉总阀 V1，在前 5分钟，压强增加值小于 ，并记录随后 4 分钟增大的压强变化量。 如果检查漏气，则要排查漏气孔。 铸锭 整个过程所需时间大约为 50 小时 ，其间，将会出现 3 次正常报警： （ 1）中央熔化报警： 此时需要确认熔体中央是否完全熔化。 具体操作为： 点 击“ 报警消声 ”，再点击“ 继续熔化 ”。 然后去上面检查是否 彻底 熔化。 报警会在 4 分钟 后再次响起 ，处理方法同上。 当报警响过 3 次后，再次报警，点击“ 进入下一步 ”，同时记录此次的具体时间。 中央熔化确认报警至少 3 次以上，如果中央没有完全熔 化，而此时“ 熔化 ”将要结束，此时点击“ 保持 ”保持这一状态 直至完全熔化。 （ 2）中央凝固报警： 及时观察中央是否凝固，如果能看到液体，则点击“ 取消 ”，继续进行凝固，这个报警要响 3 次以上才能通过完成。 （ 3）边缘凝固报警： 一般将报警取消，点击“ 延时 ” ，使其继续走完，确保边缘完全凝固。 铸锭过程中， 隔 热笼只在“ 长晶 ”和“ 冷却 ”时会 升起，其余的步骤。阅读剩余 0%
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