真空泵培训材料(一)

真空泵培训材料(一)内容摘要：

真空泵培训材料(一) 真空泵培训材料（一）合肥工业大学机械与汽车工程学院真空与过程装备教研室王君2006年11月真空泵培训基本内容1、真空泵的基础知识；2、液环式真空泵； 3、旋片式真空泵；4、滑阀式真空泵； 5、罗茨式真空泵；6、分子泵； 7、无油干式真空泵；8、喷射式真空泵； 9、气体捕集真空泵。 本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相关标准、安装、使用及维护的基本知识。 本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相关标准、安装、使用及维护的基本知识。 合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识1、义真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置。 解释： 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。 解释：真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。 合肥工业大学真空与过程装备教研室粗低真空 高真空 超高真空食品行业化工行业冷冻干燥轻工行业制药行业导电 (真空放电灯具)冶炼真空热处理、真空焊接集成电路、半导体制造各种镀膜工艺各种表面加工工艺化学研究离子注入隔离作用（绝热）空间模拟材料科学分析物理现象研究表面分析高纯材料制备 (如：、机械真空泵基础知识1、真空系统的基本组成合肥工业大学真空与过程装备教研室1233泵）预抽泵前级泵高真空阀门低真空阀门前级管道放气阀低真空计高真空计124659887733械真空泵基础知识1、速特性曲线合肥工业大学真空与过程装备教研室10械真空泵基础知识1、空条件下气体的流动特点合肥工业大学真空与过程装备教研室黏滞流(分子间易发生碰撞)分子流(分子运动相对独立)一、机械真空泵基础知识2、真空泵的类型（按真空获得的方法）参见国标：13分类及技术条件合肥工业大学真空与过程装备教研室油封泵喷射真空泵真空获得的方法往复式气体输送分子真空泵气体捕集变容真空泵 动量传输真空泵旋转式隔膜式活塞式液环泵螺杆泵滑阀泵罗茨泵旋片泵吸附泵低温泵溅射离子泵分子筛吸附泵冷阱扩散泵升华泵定片泵牵引泵复合泵涡轮泵水喷射泵蒸汽喷射泵气体喷射泵蜗旋泵一、机械真空泵基础知识2、真空泵的类型（按真空泵用途） 主泵( 在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵； 粗抽泵( 从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵； 前级泵( 用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵； 维持泵( 在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。 此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度； 粗/低真空泵(ow 从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵； 高真空泵( 在高真空范围工作的真空泵； 超高真空泵( 在超高真空范围工作的真空泵； 增压真空泵( 安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。 参见国标： 3163空技术名词术语合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识3、机械真空泵凡是利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，称为机械真空泵。 变容真空泵（：泵腔容积的周期性变化来完成抽气。 动量传输泵（：依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。 参见国标： 3164空技术系统图用图形符号常见机械真空泵图形符号合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识4、机械真空泵性能参量 抽气速率（ 在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。 极限压力（ 在标准测试条件下，不引入气体正常工作条件下，趋向稳定的最低压力。 启动压力（ 泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。 前级压力（ 排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压力。 最大前级压力（ 能使泵损坏的前级压力。 最大工作压力（ 对应最大抽气量的入口压力。 抽气量（of 流经泵入口的气体流量。 压缩比（ 泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。 参见国标： 3163空技术名词术语合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识4、机械真空泵性能参量几点说明： 实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是真空泵选配的最重要参量 ； 真空泵的性能测试必须严格按照相关国家标准规定的项目和测试条件来执行； 性能测试标准由国标、部标、企业标准几个等级； 真空泵在不同使用条件下，强调的性能参数是不同的； 对于不同类型真空泵，所需测试的项目差别很大； 真空泵性能和真空系统性能是两个概念。 合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识5、机械真空泵规格及型号真空泵型号组成：1 2 3 4 5 6真空泵级数，阿拉伯数字表示，不分级或单级者省略。 真空泵名称，构成名称关键字的汉语拼音第一个或前两个字母。 真空泵特征，用关键字汉语拼音的第一（或第二）个大写字母表示。 真空泵设计序号，用A、B、C、D顺序表示。 代表真空泵规格或主参数，用阿拉伯数字表示。 真空泵使用特点（多指被抽气体性质）。 如”N”表示可凝性气体，”F”表示腐蚀性气体。 基本型号辅助型号参见标准： 7673空设备型号编制方法合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识5、机械真空泵规格及型号机械真空泵型号示例：W 35 B/T 7637空泵型号组成2 X 15 633 L 16000往复泵，抽速35L/s,二次改型；二级旋片泵，15L/s,一次改型；单级多旋片真空泵，63m3/h;三级溅射离子泵，160L/s；锆铝吸气剂泵，进气口100容式机械泵的抽速分档：、2、4、8、15、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、1 0000、20000、40000。 合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识6、真空泵的使用范围活塞泵10超高真空<1000502膜片泵液环泵旋片泵滑阀泵罗茨泵爪形泵涡旋泵涡轮分子泵液体喷射泵蒸汽喷射泵扩散泵扩散喷射泵吸附泵升华泵溅射离子泵低温泵合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识7、几个思考题： 何谓“真空泵”、“机械真空泵”。 真空泵分类的基本方法及结果如何。 真空泵有哪几个典型参数，选泵时最重要的有哪两个。 真空泵型号是如何构成的。 各种类型真空泵的工作压力范围如何。 合肥工业大学真空与过程装备教研室真空泵培训材料（二）合肥工业大学机械与汽车工程学院真空与过程装备教研室王君2006年11月液环式真空泵1、液环真空泵的工作原理；2、液环真空泵的基本类型和优缺点；3、液环泵的结构；4、液环泵的主要参数计算及选型；5、液环泵的使用、维护注意事项；合肥工业大学真空与过程装备教研室二、液环式真空泵1、液环真空泵的工作原理（概念）液环式真空泵采用带有多叶片的转子安装在泵壳内，当转子旋转时，会将液体抛向泵壳并形成液环，液环和转子叶片形成容积周期变化的旋转变容真空泵。 水环泵是液环式真空泵中最常见的一种。 解释： 液环的形成：旋转离心力； 工作腔形成：转子+ 液环+ 泵端盖； 抽气原理：利用若干个、体积变化的工作腔的容积变化来实现抽气作用； 也可以作为压缩机来使用。 解释：液环的形成：旋转离心力；工作腔形成：转子 液环 泵端盖；抽气原理：利用若干个、体积变化的工作腔的容积变化来实现抽气作用；也可以作为压缩机来使用。 合肥工业大学真空与过程装备教研室二、液环式真空泵1、液环真空泵的工作原理（实际工作过程） 叶轮2和泵壳1形成水环3和工作腔5； 工作腔容积有小变大，由大变小，构成压缩过程； 被抽气体由入口4和进气管8进入； 被抽气体由排气口6和排气管7排出； 排出的气体和水经排气管7进入水箱10，水被回收； 排出的气体经管道9排入大气。 合肥工业大学真空与过程装备教研室二、液环式真空泵1、液环真空泵的工作原理（能量传输过程） 液体被叶轮带动后，获得动能并形成紧贴于泵腔的液环； 液环在泵腔内回转，在吸气侧不断被加速，并吸入气体； 在向排气侧转动过程中，液体经历了加速减速的过程，动能经历了增加降低，势能则降低增加； 在排气侧，气体被压缩，而液体增加的势能则被传递给气体，以抵抗气体膨胀压力； 压缩的气体在排气侧排出； 液环剩余的能量将会推动叶轮旋转。 合肥工业大学真空与过程装备教研室二、液环式真空泵2、号及基本参数2 6 P 1水环真空泵级数，阿拉伯数字表示，单级不表示，2表示两级。 水环真空泵用”“示；水环压缩机用”示。 最大气量相同，但极限真空度不同的水环泵，代表较低。 大气喷射器的级数。 1表示1级，2表示2级。 是否带有大气喷射器，带有则用”P”。 最大抽速，m3/见达道安真空设计手册合肥工业大学真空与过程装备教研室二、液环式真空泵2、本类型（按照叶轮个数分类） 单级泵：泵中只有一个叶轮，为液环泵最常见的形式； 两级泵：利用心轴将两个单级泵串联而成（非泵管道的串联）；比较： 两级泵的极限真空度高； 在较低压力下，两级泵仍具有较大抽速； 两级泵更适合较高真空条件下的需要。 合肥工业大学真空与过程装备教研室二、液环式真空泵2、本类型（按照吸、排气状态分类） 液环真空泵：泵的进口为真空状态，出口为大气压力。 该类泵主要用于粗低真空获得，化工行业的脱酸、脱气等。 液环压缩机：泵进口为大气压力状态，出口高于大气压力。 主要用于化工行业介质的输送。 介于真空泵和压缩机之间：介于真空泵和压缩机二者之间的液环泵。 进口为真空状态，出口为压缩状态，用于煤矿瓦斯气体抽除和火炉煤气的抽送。 合肥工业大学真空与过程装备教研室二、液环式真空泵2、本类型（按照作用方式分类） 单作用：叶轮与泵体呈单偏心结构，叶轮旋转一次进行一次吸、排气。 （该方式结构简单，容易制造，吸、排气口。