电子级氨水技术与市场调研报告20xx-6简内容摘要:

oxide(MOS) 7 第二章、电子级氨水的 生产工艺与质量指标 电子级氨水制法 电子级氨水是用高纯氨通入高纯水中吸收,再经微孔滤膜处理即可。 电子级氨水合成的关键步骤是高纯氨的制备。 高纯氨制备传统 方法 传统高纯氨工艺主要有三种: 工业氨经三级吸附除去油、水及部分碳氢化合物,膜压机压缩后送入精馏塔,二次精馏除去低沸点 杂质,吸附器进一步除水得高纯氨。 工业氨用吸附法除去水,采用间歇精馏法除去低沸点杂质,得到 %的高纯氨。 工业氨经精馏、多重吸附、超滤、终端纯化得到 %的高纯氨。 图 几种有代表性的吸附剂暇射程度与时间的曲线 吸附初期各吸附剂对 NH中 H0的吸附纯化程度曲线, 1~ 7为不同试验的吸附剂。 图 高纯氨生产工艺流程图 NH3; 2. 2’脱油干燥器; 3. 3’吸附器 4.精馏塔; 5.高纯 NH3; 6冷却水槽; 7.过滤器; I脱油剂; II III IV干燥吸附剂 表 精馏提纯 NH3 工艺条件 高纯氨制备其他 方法 武汉华灿光电有限公司的专利 CN1907855 提出一种直接合成高纯氨的方法 , 其特征在于:先对合成氨所需的两种原材料 —— 氮气 N2和氢气 H2进行提纯 ,然后再把它们合成为氨 , 从而得到所需的高纯氨;或者再经过简单的分离 , 把其中的 N2和 H2分离出来 , 从而得到所需的高纯氨。 用这种方法获得高纯氨克服了以往提纯的困难 , 所以成本降低很多 , 高纯氨 电子级 氨水技术与市场调研报告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 8 的价格将会大大降低。 江阴市润玛电子材料有限公司 的专利 CN101143728 发明一种超高纯氨水的生产工艺,包括以下工 艺步骤: ( 1) 将液氨罐内的液氨输入缓冲罐; ( 2) 缓冲罐的氨气通入第一个清洗塔中; ( 3) 第一个清洗塔内的氨气进入第二个清洗塔内被去离子水吸收成氨水,并释放出比较纯的氨气; ( 4) 第二个清洗塔内的氨气进入第三个清洗塔内被去离子水吸收成氨水,并释放出纯度极高的氨气; ( 5) 第三个清洗塔纯度极高的氨气输入吸收塔后氨气被吸收塔内的去离子水大量的吸收; ( 6) 在超净环境内,用过滤器对出吸收塔的氨水进行过滤分装得到超高纯的氨水成品。 该 发明生产工艺简单、生产安全性好、产品纯度高、转换率高、生产成本低。 武汉高安新材 料有限公司的专利 CN101575102 提出经氨催化裂解、氢氮气纯化和氨合成三步集成制备高纯氨。 电子级 氨水的质量指标 电子级氨水有国家统一标准, 1993 年由化工部西南化工研究院起草的《 GB/T1460193 电子工业用气体高纯氨 》 于 2020 年 4 月 30 日停止执行,取而代之的是大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院起草的《 GB/T146012020 电子工业用气体氨 》, 于 2020 年 5 月 1 日起执行。 表 GB/T 1460193电子工 业用气体高纯氨标准表 表 GB/T 146012020电子级氨标准表 表 GB/T 146012020光电子级氨标准表 表 GB/T 146012020光电子级氨重金属标准表 达诺尔公司目前可批量提供符合国际半导体行业标准的五个规格的产品: 表 电子级氨水 国际半导体行业标准表 电子级 氨水技术与市场调研报告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 9 标准 金属杂质 孔径过滤器 微米粒子 净化环境 同等 标准 XLSI 100ppt 100级 SEMI 4级( C级) SLSI 1ppb 100级 SEMI 3级( B级) ULSI 10ppb 100级 SEMI 2级 VLSI 10ppb 100级 SEMI VLSI级 SEMI 100ppb 100级 SEMI 工艺标准 第三章、电子级氨水的生产现状与预测 电子级氨水生产现状及预测 电子级氨水生产发展历程 我国的合成氨工业起步于 20 世纪 30 年代。 … . 江苏达诺尔公司也是国内主要的电子级氨水生产厂家。 目前 电子级 氨水 扩大到 5000 吨 /年。 自金融危机以来,化工行业的开工率明显降低。 电子级氨水的生产环境要求很高,加上金融危机的影响,没有查到 近两年 电子级氨水 其他 新建产能。 国内其他各电子级氨水生产厂家的产能都不大,主要是因为电子级氨水的用量较小,目前一些厂家具有一百甚至几百吨的生产能力。 目前国内有不少厂家可以规模化生产电子级氨水,由于产量主要受应用量的限制。 很多厂家按需生产。 电子级氨水生产现状 电子级氨水由于技术壁垒较高,实际生产厂家不多,国内较大的生产厂家以光明化工研究设计院为代表,每年产量只有几千吨。 2020 年,我国电子级氨水年产能力约 吨 , 产量 吨。 2020 年,我国电子级 电子级 氨水技术与市场调研报告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 10 氨水的产能已达到 吨 , 产量 吨。 2020~ 2020 年产量年均增长 %。 增长主要得益于电子工业领域的增长。 2020 年,我国电子级氨水 生 产能力 依然在 吨 /年, 产量 估计达到 吨。 表 2020~ 2020年我国 电子级氨水产能 产量情况表 单位:吨 /年 年份 产能 产量 开工率 备注 2020 % 2020 % 2020 % 2020 % 2020 % 2020 % 达诺尔增产 2020 % 图 2020~ 2020年 我国电子级氨水产能产量走势图 单位:吨 /年 电子级氨水竞争态势与竞争格局分析 目前( 2020 年 6 月 25 日),我国 能够生产 电子级氨水 的企业 很 多, 有近家,总生产能力 约 吨 /年。 国内规模较大的电子级氨水生产厂家有光明设计院(吨 /年)、江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司(吨 /年) 、 佛山市南海志力化工有限公司 (吨 /年) 等。 光明设计院由于得天独厚的科研能力在生产企业中独占鳌头,江苏达 诺尔半导体超纯科技有限公司( 5000 吨 /年)是中美合资企业,有生产优势。 其他一些厂家基本是民营企业,主要是生产特种气体或生产电子清洗剂的企业。 这些企业所产电子级氨水产品全部对外销售。 电子级氨水用量不大,生产公司大都位于华东华南一带以及华北东北的沿海地区地区,区域竞争明显。 … 电子级 氨水技术与市场调研报告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 11 电子级氨水生产发展分析与预测 近 几年,我国 电子级氨水 产能产量增长较多, 基本 能满足国内市场需求。 今后几年我国 电子级氨水 产能 产量还 有所增加。 预计到 2020 年,我国将新增 电子级氨水 产能 吨左右, 产能将出现过剩。 根据我国市场现状 ,我们建议发展 电子级氨水 须谨慎 ,不可盲目兴建。 表 2020~ 2020 年 我国 电子级氨水产能 产量预测表 单位:吨 /年 年份 预计 产能 预计 产量 预计开工率 2020 % 2020 % 2020 % 2020 图 2020~ 2020 年 我国电子级氨水产能产量预测图 单位:吨 /年 电子级氨水主要生产企业产能统计 目前我国 电子级氨水生产厂家与生产能力 统计情况见 表。 表 目前我国 电子级氨水主要生产厂家与生产 能力 情况表 单位:吨 /年 序号 生产厂家 生产能力 备注 1 500 2 50 3 4 2500 合计 5 江西省华东特种气体有限公司 200 气体 6 100 气体 电子级 氨水技术与市场调研报告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 12 7 气体 8 气体 9 惠州市惠阳华隆工业气体有限公司 气体 10 气体 11 气体 12 气体 13 气体 14 气体 15 16 17 18 枣庄滕州氨水有限公司 19 昆山晶科微电子有限公司 20 南通汇隆电子材料有限公司 Copyright@6chem Inc 电子级氨水主要生产企业概况 光明化工研究设计院 北京兴青红精细化学品科技有限公司 江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司 江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司位于长江下游金三角地带的江苏高 科技氟化学工业园,是一家专业生产超高纯微电子化学品的中美合资企业。 达诺尔公司致力于半导体湿法工艺超高纯微电子化学品的研发、生产、销售和服务。 主要产品包装 PPT 级超纯异丙醇、超纯氨水、超纯盐酸等,产品性能及各项指标达到世界先进水平。 该 公司采用美国最先进的超高纯化学品生产工艺和技术,生产过程中使用了国际水平的净化吸附树脂和美国密科里公司的超高效精密过 电子级 氨水技术与市场调研报告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS)。
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