多晶硅安全技术规范

多晶硅安全技术规范内容摘要：

检查和维修的扶梯、平台、围栏和系挂装置等附属设施。 扶梯、平台和栏杆的设置应符合 GB 固定式钢梯及平台安全要求（第 1 部分：钢直梯）、 GB 固定式钢梯及平台安全要求（第 2 部分：钢斜梯）、 GB 固定式钢梯及平台安全要求（第 3部分：工业防护栏杆及钢平台） 的要求。 存在易燃易爆场所的建构筑物，其设计应符合防火等级要求，所配置的钢质扶梯、平台等应覆盖耐火层。 涂有耐火层的构件 ，其耐火极限时间不应低于。 当耐火层选用防火涂料时，应采用有利于防烃类火灾的防火涂料。 工业管道安全 工业金属管道的材料、组成件的选用、布置应符合 GB 503162020《工业金属管道设计规范》的要求。 管道布置应满足便于生产操作、安装和维修的要求，采用架空敷设，规划有序、布局整齐。 输送易燃易爆流体的管道不应布置在室内的吊顶内及建构筑物封闭的夹层内。 工业管道应涂识别色（水管道识别色为艳绿色、水蒸气管道识别色为大红色、可燃液体管道识别色为棕色），工业管道 的识别色、识别符号、安全标识应符合 GB 72312020《工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识》要求。 相关安全装置 凡工艺上有放空的设备均应设放空装置，并定期检查其有效性。 用于易燃、易爆气体放空的安全阀及放空管，应将其导出管置于室外离地面 以上，不应将导出管置于下水道等限制性空间，以免引起爆炸。 放空管应选用金属材料，不应使用塑料管或橡皮管。 其中释放压力大于等于 的放空管线 10 应采用不锈钢材料。 放空管上应设有阻火器，应静电接地。 管口上应有挡雨、阻雪的伞盖。 易燃易爆液体严禁使用玻璃管液位计，推荐使用磁翻板液位计。 四氯化硅氢化反应器和导热油电加热器温度控制装置应有冗余设计，宜使用两套控制仪器，并定期校验。 氢化反应器及系统中的安全附件、安全保护装置、测量调控装置及有关附属仪器应完整、齐全、有效。 建议： 温度检测元件和流量开关共同作用，确保温度检测示值真实性。 中高压力电解槽、四氯化硅氢化反应器（含氢气加热器、硅粉干燥器）、多晶硅还原炉、液氯钢瓶、氢气和氯硅烷储罐、提纯系统换热器等压力容器属特种设备，其安全附件、安 全保护装置、测量调控装置及有关附属仪器应定期校验、检修、记录。 安全标志 多晶硅企业生产作业场所应按 GB 28941996（安全标志 ）的规定设置安全标志，或在建（构）筑物及设备上按 GB 28932020《安全色》规定涂安全色。 生产作业场所的紧急通道和出入口，应设置明显醒目的标志。 生产作业区入口及其他禁止明火和产生火花的场所应有禁止烟火的安全标志。 职业危害控制 生产过程应严格控制粉尘、毒物的产生。 存在严重职业危害的作业岗位应按 GBZ 1582020（工作场所职业病危害警示标识）的规定设置醒目的警示标识和中文警示标志。 有毒作业应采用无毒或低毒原料代替高毒原料。 限制使用氢氟酸、硝酸。 防尘防毒 根据生产工艺和粉尘、毒物特性，采取防尘、防毒通风措施控制其扩散，使作业场所有害物质及粉尘的浓度符合 GBZ 22020（工作场所有害因素职业接触限值）规定。 多晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度见附件 B。 产生粉尘、可燃性气体烟雾的作业场所，应设排毒或除尘净 化的通风设施。 通风设施应有防爆措施，风机与电机应要求防爆隔爆等级。 通风空气不应循环使用。 对于毒性危害严重的生产过程和设备，应设计可靠的事故处理装置及应急防护措施。 在有毒性危害的作业环境中，应设置必要的洗眼器、淋洗器等卫生防护设施，其服务半径应小于 15m。 并根据作业特点和防护要求，确定配置事故柜、急救箱或个人防护用品。 尘毒危害严重的厂房和仓库等建（构）筑物的墙壁、顶棚和地面均应光滑，便于清扫，必要时设计防火、防腐等特殊保护层及专门清扫设施，以便清洗。 防噪声 应从声源上控制生产过程和设备噪声，以低噪声的工艺和设备代替高噪声的工艺和设备。 生产过程和设备的噪声应采取隔声、消声、隔振及管理等综合措施，使操作人员每天连续 8h 接触的噪声不大于 85dB（ A）。 作业场所噪声声级的卫生限值，应符合国家标准 GBZ 12020（工业企业设计卫生标准）要求。 11 防高温防寒 当室内作业地点气温等于或大于 37℃时应采取局部降温和防暑措施，并应减少接触时间。 在炎热季节对高温作业的工人应供应含盐清 凉饮料（含盐量为 %～ %）。 当室内作业地点温度近十年最冷月平均温度等于或小于 8℃的月份连续三个月以上的，应设置采暖设施，设置采暖设施应符合 GB500162020（建筑设计防火规范）第 节的要求。 甲、乙类厂房和甲、乙类仓库内不应采用明火和电热散热器采暖。 下列厂房应采用不循环使用的热风采暖： a ) 生产过程中散发的可燃气体、可燃蒸气、可燃粉尘、可燃纤维与采暖管道、散热器表面接触能引起燃烧的厂房； b ) 生产过程中散发的粉尘受到水、水蒸汽的作用能引起自燃、爆炸，以及容 易积聚爆炸性气体的厂房。 防护用品管理 对作业人员应采取个人防护措施，配备专用的劳动防护用品。 易燃易爆场所作业人员应配用棉布工作服、防静电鞋、防毒口罩、工作手套等。 不同岗位作业人员配用劳动防护用品及劳动防护用品质量性能应符合 GB/T 116511989（劳动防护用品选用规则）的要求。 作业场所应正确穿戴劳动防护用品，工作结束后应更换工作服，清洗后方可离开作业场所。 不应在生产作业场所饮食。 生产作业场所应配备呼吸防护器以及其他应急防 护用品。 呼吸防护器配备应符合 GB/T 186642020（呼吸防护用品的选择、使用与维护）的要求。 过程自动控制设计安全要求 系统 DCS 的操作站、控制器、通讯总线、 I/O 卡件等应按 1： 1 冗余配置。 提纯塔、三氯氢硅气化装置、还原尾气压缩机、氢化反应器等重要设备应根据其内部物料的火灾危险性和操作条件设置相应的仪表报警讯号，自动联锁保护系统或紧急停车系统。 多晶硅生产装置中，采用 DCS、 PLC 等执行监控的生产装置仪表电源应采用不间断电源，其后备电池供电时 间： 15min30min 氢气压缩机房、还原炉室、氯硅烷储罐区等的 2 区内及附加 2 区内，应设置可燃气体检测报警仪。 氯硅烷罐区的区域内，应设置有毒气体检测报警仪。 易燃易爆装置内的保护管与仪表、检测元件、电气设备、接线箱、拉线盒连接时，或进入仪表盘、柜、箱时，应安装防爆密封管件，并做好充填密封，密封管件与仪表箱、接线箱、拉线盒之间的距离不应超过。 密封管件与仪表、检测元件、电气设备之间可采用挠性管连接。 5 多晶硅生产作业安全 工艺控制及一般规定 企业应按照不同的多晶硅生产具体工艺及特点，制定工艺技术规程和安全操作规程（或作业指导书）。 多晶硅生产应按照工艺技术规程、安全操作规程（或作业指导书）执行。 多晶硅生产的工艺技术指标和中间控制指标应仔细核对、严格控制，重要的控制指标应设管理控制点。 更改指标应有相应的安全保障，并经技术负责人批准。 用于多晶硅生产原辅材料的成份应经化验，外购三氯氢硅纯度应＞ 12 98％， BP 杂质含量小于 ，并确认符合要求。 未经检验或不合格的原材料，不应投入生产使用。 . 生产车间应根据生产需要规定原材料的存放时间、地点和最高允许存放量。 车间生产所领取的原材料数量不应超过当班用量，剩余的要及时退回仓库。 相禁忌的原材料不应放在同一区域，应划定区域分类隔开或分离贮存。 作业区的生产物料、产品、半产品的堆放，应用黄色和白色标记在地面上标出存放地点，堆放整齐，保证通道畅通。 加热设备、提纯设备、还原设备、氢化反应设备、 HCL 与 TCS 合成设备、制氢设备、干法回收设备、辅助设备（过滤机、离心机、各类泵、空气压缩机、通风机、电动葫芦）等生产设备的操作应按照安全操作规程进行。 一般情况下，系统开停车基本要求 系统开车前 应先 检查并确认水 ,电 ,汽 (气 )必须符合开车要求 ,各种原料 ,材料 ,辅助材料的供应必须齐备 ,合格 .投料前必须进行分析验证 .。 检查阀门开闭状态及盲板抽加情况 ,保证装置流程畅通 ,各种机电设备及电气仪表等均应处在完好状态。 保温 ,保压及洗净的设备要符合开车要求 ,必要时应重新置换 ,清洗 和分析 ,使之合格 . 必要时停止一切检修作业 ,无关人员不准进入现场 . 各种条件具备后开车 ,开车过程中要加强 有关岗位之间的联络 ,严格按开车方案中的步骤进行 ,严格遵守升降温 ,升降压和加减负荷的幅度 (速率 )要求 . 开车过程中要严密注意工艺的变化和设备运行的情况 ,加强与有关岗位和部门的联系 ,发现异常现象应及时处理 ,情况紧急时应中止开车 ,严禁强行开车 . 必须编制停车方案 ,正常停车必须按停车方案中的步骤进行 .用于紧急处理的自动停车联锁装置 ,不应用于正常停车 ,加强与有关岗位和部门的联系 . 系统降压 ,降温必须按要求的幅度 (速率 )并按先高压后低压的顺序进行 .凡需保压 ,保温的设备容器 )等 ,停车后要按时记录压力 ,温度的变化 . 大型传动设备的停车 ,必须先停主机 ,后停辅机 . 设备 (容器 )卸压时 ,要注意易燃 ,易爆 ,易中毒等化学危险物品的排放和散发 ,防止造成事故 . 冬季停车后 ,要采取防冻保温措施 ,注意低位 ,死角及水 ,蒸汽 ,管线 ,阀门 ,疏水器和保温伴管的情况 ,防止冻坏 . 紧急处理 发现或发生紧急情况 ,必须先尽最大努力作出妥善处理 ,同时向有关方面报告 ,必要时 ,先处理后报告 . 工艺及机电设备等发生异常情况时 ,应 迅速采取措施 ,并通知有关岗位协调处理 ,必要时 ,按步骤紧急停车 . 发生停电 ,停水 ,停气 (汽 )时 ,必须采取措施 ,防止系统超温 ,超压 ,跑料及机电设备的损坏 . 发生爆炸 ,着火 ,大量泄漏等事故时 ,应首先切断气 (物料 )源 ,同时尽速通知相关岗位并向上级报告 . 生产作业区应禁止吸烟；易燃易爆场所作业人员不应穿着能产生静 13 电火花的化纤织物工作服和带裸露铁钉的鞋；不应使用铁质工具及撞击会产生火花的其它工具；不应使用打火机、手机、相机等发火和电子设备。 应及时清理废物、油迹、 漆垢等，保持作业岗位环境的整洁卫生。 三氯氢硅提纯 提纯塔开车 应按照所开提纯塔的工艺操作规程（或作业指导书）的要求操作。 提纯塔进料前要确保所有相关设备、阀门、管道均已打压检漏吹扫合格 （检漏合格要求：将相关设备、管道、阀门升压至设计压力，用肥皂水检测，无泄漏；吹扫合格要求：使用白布在泄压口检测，无油、无水、无锈） ，各种仪表监控装置经校验合格并正常投用。 该提纯塔以及相关所有设备管道用高纯氮气置换合格 （经检测后氮中氧小于 5000PPm，露点小于 45℃） 应按照工艺技术操作规程的要求逐步开车，注意进料流量， 升温升压速度， 防止因为升压过快引起塔失去控制，发生事故。 在开塔过程中注意，冷热源的投入必须遵循“先冷后热”的原则，先通冷却介质，再通加热介质，在通入热源之间要先进料，要避免加热设备“干烧”的状况。 提纯塔运行控制 提纯塔运行中要严格按照工艺操作参数控制，不应超过所有参数的控制范围。 提纯塔 系 运行期间，操作者要对其进行精心的调整，在保证物料进出平衡的前提下， 观察塔系各参数运行是否正常，并及时观察各参数的变化趋势，按照各塔的操作要求进行少量多次的微调，以保证塔系正常稳定的运行。 提纯塔运行过程中要定时对提纯塔相关各种物料进行检测（成分、杂质等），确保各项产品指标符合要求。 提纯塔运行中如果出现泄漏时应立即采取停塔处理措施，停止加热，停止进出料，打开尾气阀门泄压，通入高纯氮气，防止因为泄漏出现着火爆炸等次生事故。 如果条件允许，可使用带压堵漏工具对泄漏部位进行封堵，否则待压力降低后将塔内物料倒出，高纯氮气置换，合格 （无明显氯硅烷 料味） 后再对泄漏部位进行处理。 提纯塔相关换热器泄漏：提纯塔运行中要精心观察各参数运行是否异常，同时应该对辅助系统各种介质进行检测，以确保在换热器泄漏时能够及时发现，如发现换热器泄漏时应立即停塔进行处理。 提纯塔停车 提纯塔停车时应遵循“先热后冷”的原则，当提纯塔所有进出料停止，与其他系统断开后，先停止热源，为防止超温超压冷却水继续投入，待塔内温度降下来、塔压维持稳定可以关闭冷却循环水，停塔过程中应随时监视塔内压力和温度情况。 提纯塔停塔后 依据实际情况进行后续处理，如需要检修，则应把塔内所有物料倒出，高纯氮气置换合格后进行处理；如停塔后物料没有倒出，则要继续监视塔内各个参数，保证塔内各参数正常（确保塔内有一定压力 （表压大于 20KPa） ，必要时可充高纯氮气补压）。 还原尾气干法回收 还原尾气干法回收系统开车 应按照还原尾气干法回收系统的工艺操作规程（或作业指导书）的要求操作。 干法回收系统进料前要确保所有相关设备、阀门、管道均已打压检 14 漏吹扫合格，各种仪表监控装置经校验合格并正常投用。