丰宁全自动倒角机技术说明书20xx

丰宁全自动倒角机技术说明书20xx内容摘要：

急 １７ 停止按钮在数控副面板左侧。 待异常情况排除后，方可抬起紧急停止按钮。 （ 5）参数设定。 按下 参数 键，再按下 101200 键，用 选定变量。 并输入要求之参数。 （输入者掌握密码） １８ 上述参数的设定，特别要注意的是单位，一定以微米为单位输入数据。 例如： 3 英寸硅片加工直径为 ,加工主参考边长度为 ,则在 132 中输入数据为硅片加工直径。 在 133 中输入数据为主参考边长度。 输入完数据后，要仔细察看位数，不能多， 也不能少，如输入错误，可能造成硅片损坏或设备故障。 131~137 根据实际需要设定。 138 和 139 速度实际上在程序里设定。 在这里可作为功能备用。 140 是 Y 轴 (旋转轴 )旋转到初始角时，如果角度有误差，则磨参考边时，磨之前与磨之后，参考边起始点有误差，故必须在 140写入修正系数，保证参考边起始点一致。 如果未发现不一致问题，则 140 可设置为 0。 140 可以调整参考边位置。 如果 硅片原始参考边与硅片晶格有误差，也可以用 140 来调整。 正常使用时一般 １９ 不用动 140 数值，请注意。 上升设置点 145 数据确定原则： 在机床回原点后，用手轮调整Z 轴位置，当升降轴吸盘下平面与硅片取出旋转气缸摆臂不发生干涉之位置定为上升设置点，用手动将硅片取出旋转气缸摆臂至取片位，此时升降轴吸盘下平面高于硅片取出旋转气缸摆臂上平面 2MM 即可。 观察 Z 轴机床坐标数据，用 25 减 Z 轴机床坐标数据所得差值填入 145 中。 145 中的数据实际是 G54 工件坐标系坐标值，不是 Z 轴机床坐标系坐标值。 ，特别要注意的是单位，一定以微米为单位输入数据。 G53Z0=G54Z0+25。 吸片位置 144 数据确定原则： 在机床回原点后， 用手轮调整 Z 轴位置，当升降轴吸盘下平面与硅片送入吸盘上平面 +硅片厚度不发生干涉之位置定为吸片位置，用手动将硅片送入到升降轴心位置，此时升降轴吸盘下平面高于硅片上平面 即可。 如果过高，硅片不容易吸着，如果过低，容易发生干涉。 观察 Z 轴机床坐标数据，用25 减 Z 轴机床坐标数据所得差值填入 144 中。 144 中的数据实际是G54 工件坐标系坐标值。 机床坐标系坐标值。 特别要注意的是单位，一定以微米为单位输入数据。 加工点 141 数据确定原则： 1：粗调。 在机床回原点后，用手轮调整 X 轴位置，使砂轮尽量靠近升降 轴吸盘，用手轮调整 Z 轴位置，观察升降轴吸盘下平面，趋近于砂轮槽槽中心位置，再向上走 1/2 片厚即可。 观察 Z 轴机床坐标数据，用 25 减 Z 轴机床坐 ２０ 标数据所得差值填入 141 中。 2：细调。 单步运行程序 ,程序运行至加工点 ,暂停 ,观察硅片与砂轮槽相对情况 ,如偏离太多 ,修正 141数值 ,再重新运行程序 ,程序运行至加工点暂停 ,再观察硅片与砂轮槽相对情况 , ,如偏离不多 ,则试磨片 ,观测试磨之硅片 , 精确修正141 数值。 A 轴进给位置 146 数据确定原则： 1：粗调。 在机床回原点后，用手轮调整 A 轴位置，使 A 轴送料吸盘位置向升 降轴吸盘中心方向移动，当送料吸盘与升降轴吸盘左齐平时，记录下 A 机床坐标数据 1，再用手轮调整 A 轴位置，当送料吸盘与升降轴吸盘右齐平时，记录下 A 机床坐标数据 2，（数据 1+数据 2） /2=146。 此数值为粗调值。 2：细调。 单步运行对中找正程序，用百分表测量出 X1 、 X2 数 值 ， 用 X1 、 X2 差 值 修 正 146 即 可。 146=146+(X2X1)/2。 外围系统操作 开机与关机。 开机： 将总电源开关 (QF1)置 ON，控制柜内外围设备相关电源 (QF２ QF８ )开关置 ON。 关机： 按下手操盘停止按钮，将控制柜内外 围设备相关电源开关置 OFF，将总电源开关置 OFF。 手动 将手操盘选择开关打到手动，就可在触摸屏上对外围设备进行手动操作。 ２１ 自动 外围设备自动运转前先进行设定 （ 1）切边有无设定（触摸屏）： 在触摸屏 操作方式 画面，如果加工片子不需切边找正按 切边有无 按钮弹起；如果加工片子需切边找正按 切边有无 按钮。 （ 2）找切边电机旋转时间设定（触摸屏）： 在触摸屏 操作方式 画面，如果加工片子有切边需设定找切边 M 旋转时间。 （ 3）电子尺设定值（触摸屏）： 加工片子有切边时，对电子尺设定值进行操作，在触摸屏 操作方式 画面输入电子尺切边找正 时电子尺的位置显示值作为电子尺的设定值。 （ 4）设置菜单（触摸屏）： 根据工艺要求对设置菜单中的参数进行设定。 （ 5）回原点（触摸屏）： 外围设备自动运转前先回原点。 （ 6）排除异常： 所有故障排除（见触摸屏故障显示）。 （ 7）非常停止： 数控装置启动且未有急停。 以上条件具备按下 复位 钮就可对外围设备进行自动操作。 启动 在参数已设定好，外围设备在原点状态，触摸屏操作方式画面原点指示灯亮 (原点条件在触摸屏原点条件画面显示 )。 数控设备先启动，外围设备异常排除，操作盘选择开关打到 自动 ，按下复位，再按下绿色 启动 按钮，延时报警后，外围设备运转，绿色塔灯及面板上 启动 绿色运转指示灯亮。 ２２ 停止 按下 停止 外围设备停止运转。 复位 当外围设备发生异常，异常锁，异常排除，按下复位异常锁打开。 （ 1）自动状态下，当切边找正装置检测出切边歪， 切边歪 异常指示并报警。 此时在运转状态下，先拿出异常片子，再按下操作盘复位 钮，外围设备继续运行。 （ 2）自动状态下，当移载取片子时发生异常（如片子裂），移载吸着异常报警，移载停止取片并回到上位，操作者清理好发生异常的片子，排除故障，按下 复位 ，设备继续运转。 （ 3）自 动状态下，当硅片取出时发生异常（如片子裂），硅片取出异常报警，硅片取出装置回到外端下降吹真空，回到上端后停止，此时按下数控装置暂停，清理碎片，清理完后，停止数控装置暂停，并按下外围设备 复位 ，设备继续运转。 触摸屏画面 （ 1） 1菜单画面。 ２３ 在菜单画面通过灰色按钮可选择不同的操作画面。 ：此按钮使触摸屏翻到下一个画面即 2操作方式画面。 ：此按钮使触摸屏回到此画面之前的显示画面。 ：画面中其他按钮为画面切换按钮，如按下 操作方式 按钮，画面便切换到 操作方式 画面。 （ 2） 2操作方式画面。 ２４ ：此按钮使触摸屏翻到上一个画面即 1菜单画面。 ：此按钮使触摸屏翻到下一个画面即 3原点画面。 ：此按钮使触摸屏翻到菜单画面。 ：在手动情况下按下此按钮，外围设备自动回原点，所谓原点如原 点画面描述。 （回原点后要按下按钮使按钮回弹回位） ：外围设备各执行器件回到原点画面要求位，原点指示灯亮。 ：如果加工片子有切边，按下此按钮。 如果加工片子无切边，弹回此按钮。 找切边 M 旋转时间 ：设定找切边电机从片子到达检测点位开始运转的时间。 电子尺设定值 ：对于有切边的片子，需对切边找正，气缸带动两个滚轮顶片子切边，将切边顶正，气缸带动电子尺，输入切边找正气缸找正切边时气缸的行进距离（ 电子尺当前值 显示值），作为电子尺设定值，每次找切 边气缸行进距离与这个设定值进行比较，判断片子切边是否找正。 电子尺当前值 ：显示电子尺当前位置值。 （ 3） 3原点画面。 ２５ 此画面为原点条件，所有条件满足，外围设备处于原点位置。 ：此按钮使触摸屏翻到上一个画面即 2操作方式画面。 ：此按钮使触摸屏翻到下一个画面即 4上料盒画面。 ：此按钮使触摸屏翻到菜单画面。 （ 4） 4上料盒画面。 此画面对上料盒，皮带电机 ，找切边电机进行手动操作。 ：此按钮使触摸屏翻到上一个画面即 3原点画面。 ２６ ：此按钮使触摸屏翻到下一个画面即 5移栽画面。 ：此按钮使触摸屏翻到菜单画面。 上升： 此画面对上料盒进行手动操作，按下 上升 上料盒电机上升。 下降： 此画面对上料盒进行手动操作，。