多晶硅生产工艺---改良西门子法内容摘要：
SiCl4，净化三氯氢硅（多级精馏）。 （ 4）净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的 SiHCl3 在 H2 气氛中还原沉积而生成多晶硅。 其化学反应 SiHCl3+H2→Si+HCl。 多晶硅的反应容器为密封的，用电加热硅池硅棒（直径 510 毫米，长度 米，数量 80 根），在 10501100 度在棒上生长多晶硅，直径可达到 150200 毫米。 这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应，并生成多晶硅。 剩余部分同Н2,НСl,SiНС13,SiCl4 从反应容器中分离。 这些混合物进行低温分离，或再利用，或返回到整个反应中。 气态混合物的分离是复杂的、耗能量大的，从某种程度上决定了多晶硅的成本和该工艺的竞争力。 在西门子改良法生产工艺中，一些关键技术我国还没有掌握，在提炼过程中 70%以上的多晶硅都通过氯气排放了，不仅提炼成本高，而且环境污染非常严重。 改良西门子法相对于传统西门子法的优点主要在于： 1）节能： 由于改良西门子法采用多对棒、大直径还原炉，可有效降低还原炉消耗的电能； 2）降低物耗：改良西门子法对还原尾 气进行了有效的回收。 所谓还原尾气：是指从还原炉中排放出来的，经反应后的混合气体。 改良西门子法将尾气中的各种组分全部进行回收利用，这样就可以大大低降低原料的消耗。 3）减少污染：由于改良西门子法是一个闭路循环系统，多晶硅生产中的各种物 料得到充分的利用，排出的废料极少。阅读剩余 0%
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