洁净室技术基础培训教材

洁净室技术基础培训教材内容摘要：

了得到高成品率合格产品。 为了达此目的，设计和建造洁净室必须把安全可靠放在第一位。 保证所建造的洁净室在洁净度、温湿度、风速、压力等所有参数必须满足生产工艺的要求，保证安全、可靠、不出事故。 这一点绝不能马虎，更不能打折扣，要万无一失，只有这样才洁净技术基础培训教材 洁净室及相关受控环境 19 能有效益，才能达 到建造洁净室的目的。 三．洁净室的竣工验收调试，性能测试和洁净室的综合评价 竣工验收的调试工作要分以下四个步骤进行。 ①调试前的准备工作。 ②单机试车。 ③联动调试。 ④洁净室的性能测试和综合评价。 （一）调试前的准备工作 调试的组织准备： 成立以建设单位（业主）为组长的有设计单位、施工单位、监理单位人员参加的调试小组。 调试小组领导调试的全面工作，调试小组协调各方面的关系，调试小组为调试工作提供各种软硬条件。 编制调试大纲 在调试小组领导和组织下，编制调试大纲。 调试大纲是调试工作的指导性文件。 调试大纲的内 容包括：组织分工、人员安排、物资调动；调试项目、调试方法、调试仪表；调试程序、调试进度、调试计划安排等。 调试大纲的编制使调试人员思想明确、认识统一、步调一致、行动整齐，使调试工作顺利进行。 施工现场质量的会检。 在调试小组的领导组织下，有建设单位、设计单位、施工单位、监理单位的有关领导和技术人员参加，对施工现场、施工质量进行全面会检。 从冷冻站、换热站、锅炉房、变配电站、空调机房到供冷、供热、供电系统、空调净化系统和自动控制系统。 从设备（冷冻机、锅炉、水泵、冷却塔、空调器等）、配件（阀门、风口、消声器等） 、管道和管线到保温、设备基础、管道支吊架等的工程施工质量进行全面会检。 看是否按图施工、查与设计图不符之处，找施工质量不合格项目并查其原因。 并对施工、加工、安装等质量问题逐一填写“缺陷明细表”，提出整改意见，限期（正式调试之前）整改完毕。 空调设备、空调系统的清扫： ①调试之前对洁净室进行全面、彻底的清扫是十分必要的。 对洁净室的地面、墙面、吊顶、门窗进行认真、全面、彻底的大扫除（最好请专业的清洁公司）；对空调设备、空调管道（送风管、回风管、新风管），空调配件（清声器、阀门、风口等）进行检查、检漏和擦试。 达 到洁净要求为止。 ②安装粗效、中效过滤器进行第一次空吹。 在彻底清扫的基础上，安装空调器内的粗效和中效过滤器。 对整个净化空调系统进行空吹，空吹时间为 24~36 小洁净技术基础培训教材 洁净室及相关受控环境 20 时，使整个系统得到初步的净化。 ③安装高效过滤器。 系统空吹后可以安装高效过滤器。 高效过滤器在安装之前，要求对其逐一进行检漏，对有泄漏者进行堵漏。 检漏在临时检漏台上进行，尘源利用大气尘。 被检合格的高效过滤器方能进行安装，安装完毕后对高效过滤器的安装密封再进行检漏（利用尘埃粒子计数器扫描），达到安装合格。 ④高效过滤器安装检漏合格后再对净化空调系统进行第二 次空吹。 空吹时间24 小时，然后方可进行入调试程序。 测试仪器、仪表、工具的准备 ①调试前要对调试中所用的仪器仪表进行调试和标定（超过使用时间还需重新进行标定）。 所用的仪表包括测量风速、风量、温度、相对湿度、压差、噪声、振动、转数、时间、大气压力和洁净度的仪器仪表等。 ②调试所用的器材、工具的准备。 如：电工工具、管工工具、扳金工工具、钳工工具以及爬高上下的梯子等。 并且请施工单位配合电工、管工、扳金工和钳工。 ③调试和测试工作所用的图纸和记录表格的准备。 （二）单机试车 单机试车是对工程中的所有的设备、配件 等单体进行试车。 单机试车的目的是对这些设备、配件的安装质量和产品出厂质量的检查和考核。 单机试车的主要内容有： 水、电先行。 即首先对供水供电的设备和系统进行检查和考核。 如水泵、变压器、配电箱、开关等。 要保证供水、供电的正常、可靠。 进而，对供冷设备（冷冻机、冷却塔、冷冻水泵、冷却水等）、供热设备（锅炉、换热器、热水泵等）、空调设备（表面冷却器、加热器、加湿器、过滤器、风机等）、自动控制设备、仪表、阀门以及各系统的配件进行单体考核。 看是否能满足设计要求和正常运行。 尤其对转动设备如风机、水泵要试转看是否运转平稳，有无杂音和碰撞和反转现象；用电设备接线是否正确；冷冻机和锅炉是否能达到设计要求；空调器中表冷器的降温去湿能力、加湿器的加湿能力等等进行单体检查、考核。 如果出现故障和发现问题，应立即排除。 对于大型设备如冷冻机、锅炉、空调器等（尤其是进口设备）在单机试车时最好有生产厂家的调试人员现场指导或由生产厂家负责试车，待运转正常后再移洁净技术基础培训教材 洁净室及相关受控环境 21 交给使用单位。 单机试车为联动调试做好各个单体设备的准备工作。 （三）联动调试 联动调试一般情况下分为两个阶段进行，即风量分配阶段和联动调试阶段。 风量分配： 风量分配即将各个洁净室的送 风量、回风量、新风量、排风量全部按设计要求调整到设计风量。 因为一个洁净厂房可能有多个空调送风系统和排风系统，或一个空调送风系统要负担多个洁净室的送风。 因此，风量分配调试工作是一项工作量大、时间长、耐心细致的工作。 风量分配调试工作也是整个调试工作的重点工作。 常用的风量分配调试方法采用标准风口法。 标准风口法：一个洁净室可能有几个、几十个空调送风口、回风口。 因为它们之间都是相通的，当调整某一个风口送风的风量时其他送风口的风量也会跟其变化。 因此，采用标准风口法。 所谓标准风口法，就是在风量分配之前，将所有阀门都开 到最大的情况下，在所有的送风口这中找到最不利的送风口（送风量最小的送风口），将此风口作为标准风口。 在标准风口上设一监测仪表，随时测试标准风口的风量变化。 然后调整其它所有风口风量。 因为调整任何一个风口风量时，都会影响已调整过的风口的风量的变化；因此，在调整任何一个风口风量时，都要以标准风口当时风量为参照风量，使所有被调风口的风量均随标准风口的风量变化而同步变化。 当一个净化空调系统负责多个洁净室空调时，调试要以洁净室为单位由末端向总干管方向进行，对各洁净室首先调整其送风量的相对关系量，然后，再用系统的总阀门来 将每个送风口，每个洁净室的送风量都调整为真实的设计送风量。 联动调试 联动调试在风量调整和单机试车后进行。 联动调试就将净化空调系统和为净化空调系统服务的所有系统即：供冷系统（冷冻机、冷却塔、水泵以及供冷系统上所有的配件）、供热系统（锅炉、水泵以及供热系统上所有配件）、供电系统（配电箱、变频器„„）和自动控制系统全部投入运行，考核各系统的综合性能和联动性能。 必要时，在洁净室内人为的设置一定量的负荷，考核温、湿度探头、中间仪表和执行机构的联动是否敏感、协调；考核温、湿度探头是否准确，精度是否合格。 （四）洁 净室的性能测试和综合评价 洁净技术基础培训教材 洁净室及相关受控环境 22 在风量调整和联动调试的基础上，洁净室空调净化系统以及为其服务的所有系统，均处于正常运行状态。 接着进行洁净室的性能测试和综合评价。 洁净室的性能测试： 洁净室性能测试内容包括： 洁净度测试、风量测试、正压测试、风速测试（单向流洁净室 ）温度、相对湿度测试、噪声测试等。 ①洁净度测试：采样点布置在工作面上（ ~），采样点数量 N=A1/2（ A是洁净室面积‘ m2’）。 尘埃粒子计数器的采样量要大于 1 升 /分；每个采样点连续有效采样三次。 取其平均值做该点的测量值。 全部测点的测量值 的平均值作为洁净室的洁净度。 ②风量或风速测试：单向流洁室测量断面风速、非单向流洁净室测其风量。 断面风速的测量：距吊顶上送风高效过滤器（ HEPA） 300mm 处布置测点，测点间距为 600mm，用热球风速仪测其各点风速。 风量测试：在送风管或送风口上测送风风量。 方法是用比托管和微压差计，测风管内各点的动压，测点间距为 100mm。 再计算送风量。 ③正压测试：在关门的状态下，测洁净室的正压。 采用补偿式微压计测量。 洁净室的综合评价。 在对洁净室性能测试的基础上，根据对洁净室洁净度、温、湿度、正压、风量、噪声等 测试结果，对洁净室的建设和性能进行竣工验收的综合评价。 四．洁净室的性能测试 (一 ) 洁净室性能测试的目的 洁净室性能测试的目的主要有两项：其一是为了洁净室的竣工验收，其二是为了检查洁净室的运行是否正常。 净室竣工验收的性能测试 根据（洁净室施工及验收规范）和（洁净厂房设计规范）的要求，洁净室竣工验收分两步进行，第一步是竣工调试和性能测试，第二步是洁净室性能的综合评价。 洁净室性能的综合评价是洁净室工程竣工验收的重要环节，而洁净室性能测试又是洁净室性能综合评价的基础。 洁净室性能测试所需要测试的项目以下： ①通风机的风量和转数； 洁净技术基础培训教材 洁净室及相关受控环境 23 ②风量及其平衡； ③室内静压及其调整； ④ 自控系统的联动； ⑤ 高效过滤器的检漏； ⑥ 室内的洁净度；等六项。 其中主要三项是，洁净度，风量和室内静压。 洁净室运行状态下的定期性能测试 根据（洁净厂房设计规范）的要求，因生产的复杂性和维护管理工作的主，客观原因造成洁净室性能的下降，必须对洁净室进行定期的性能测试，检测的频数见下表。 表十四 洁净室性能测试的内容和频数 洁净度等级 项目 1~3 6 7 9 温度 循环监 测 每班二次 湿度 循环监 测 每班二次 压差值 循环监 测 每周一次 每月一次 洁净度 循环监 测 每周一次 每 3 个月一次 每 6 个月一次 风量 循环监 测 不得超过 12 个月 （二）洁净室性能测试的内容 表十五 洁净室检测内容 序号 测试项目 JGJ7190 规定 GB500732020规定 低于 100级 100 级 1000 级及以下 洁净技术基础培训教材 洁净室及相关受控环境 24 1 室内送风量，系统总风量，室内排风量， 检测 检测 2 静压差 检测 检测 3 风速和风 量 检测 不 测 检测 4 断面风速不均匀度 检测 必要时测 不测 未规定 5 洁净度级 别 检测 检测 6 浮游菌和 沉降菌 必要时测 选测 7 室内温度和室内相对湿度 检测 选测 8 温湿度波动范围和区域温差 必要时测 未规定 9 室内噪声 级 检测 选测 10 室内倍頻程声压级 必要时测 选测 11 室内照度及其均匀度 检测 选测 12 室内微振 必要时测 必要时测 13 表面导静 电性 必要时测 必要时测 洁净技术基础培训教材 洁净室及相关受控环境 25 14 室内气流 流型 不测 必要时测 选测 15 流线平行 度 检测 必要时测 不测 必要时测 16 自净时间 不测 必要时测 必要时测 选测 17 过滤器安 装检漏 未规定 选测 18 污染泄漏 未规定 选测 （三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表 （三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表 风压测试仪器：主要用于测定洁净室之间和洁净与非洁净区之间微压差，也可利用压差法测量风速，计算风量。 ①液体压力计：液体压力计具有使用方便、价格低廉、精确度较高、制造安装方便等优点，但有测量范围受限制、玻璃管易碎等缺点。 常用的工作液体有：酒精、水、水银等，在洁净室测量中主要是酒精和水。 液体压力计主要有： U 型管压力计、斜管压力计、补偿式压力计。 ②弹簧压力计：弹簧压力计是根据弹簧元件在所测压力作用下发生变形，其变形量与所测压力成函数关系这一原理制成的，其优点是构造简单、便于携带、安装方便、价格低廉。 常用的弹簧压力计主要有：弹簧管压力计、膜片管压力计和膜核压力计。 ③ 电学压力计：电学压力计是利用压电原理或高压下电阻变化等电学方法来测定压力的压力计，适用于测量变化极快、数值很高或近乎绝对真空时的压力。 风速和风量测试仪器： ① 风速测量仪的作用原理有：机械式、散热率式和动力测压式 等。 a．机械式风速仪：如翼形风速仪，它是利用流动气体的原动压推动机械装置来显示其流速的仪表。 b．散热率式风速仪：是根据流体中受热物体的散热率与流体流速成正比关系制成，测定传感器的散热率，即能测到流体的流速。 常用的散热率式风速仪有：热线风速仪和热球风速仪等。 洁净技术基础培训教材 洁净室及相关受控环境 26 ②风量测量仪：在洁净室中总风量的测试常用风管法，各房间送回风量多用风口法进行测量，其原理为平均风速乘以断面面积。 ③ 洁净度测试仪： a．尘埃粒子的检测仪表：目前洁净室洁净度的检测主要用光散射尘埃粒子计数器，它又分为白只 光尘埃粒子计数器和激光尘埃粒子计数器。 它的原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中的微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系来测量微粒粒径的大小。 b．生物粒子的检测仪表：目前生物粒子的。