管理信息化-设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范(word,中文，(编辑修改稿)

管理信息化-设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范(word,中文，(编辑修改稿)内容摘要：

它由以下的几部分组成：  预防性措施：按计划周期维护过程（包括设备断工、复工），以降低设备运转中故障的可能性。 间断周期可能基于设备时间、设备状态。  设备检测：运转设备以证实设备的功能状态。 （比如，系统达到基本压力，芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃 烧、来源达到特定压力。 ）  校正运作：在预防性措施后为保证设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。 注释 5：设备供应商有责任提出预防性措施计划以使设备达到预定水平。 使用者如果希望供应商提高设备水平，他们有责任指出与原定计划的偏离之处。 改变化学材料及消耗品 — 指在补充半导体流程中的原材料时的故意打断。 它包括改变气瓶、酸、目标、来源等等以及任何与改变相关的充、洗、清洁。 但不包括在得到化学材料、消耗品补给之前的延误时间。 调整 — 它是以下几部分之和：  变动：为了适应在流程、产品、包装 结构上的改变而作出的设备变动所需的时间。 （不包括装修、重建、升级）  设备测试：运行设备以证实它的功能。 （比如，系统达到基本压力，芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。 ）  校正运行：在改变后为确认设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。 注释 6：设备供应商有责任提供设备在预定条件下改变和测试的过程步骤。 使用者如果希望在这些条件下供应商减少改变次数，那么他有责任给出偏离的过程步骤。 与基础设施相关的停工 — 由于缺乏辅助的基础设施而使设备不能按预定功能运行的一段时间。 相关的基 础设施有：  环境（例温度、湿度、震动、微粒度）  房屋的悬挂装置（例动力、冷却水、空气、废气、 LN2）  与其他设备或宿主计算机连接的管道  与宿主相连的通信设备 任何与上述项目相关的停工时间将包括在基础设施的停工时间内。 例如，由于安排了 15 分钟的动力短缺使需要另外的制冷剂动力，这样让设备再恢复到预定功能状态所耗费的时间就是与基础设施相关的停工时间。 计划外停工时间 — 由于一些意外事件使设备不在预定功能状态的时间。  维修推迟  修理  改变化学材料及消耗品  不合规范的输入  与基础设施相关的停 工 维修推迟 — 由于设备正等待使用者或供应人员或其他与维修有关的部分（化学材料、消耗品等）而使设备不能正常工作的时间。 维修推迟有可能是因为管理员决定让设备停着推迟维修。 注释 7：维修推迟会发生在维修过程的任何时段，它必须从维修时间中被独立出来。 推迟时间包括在离线时间内，但不在修理时间内。 （详见 ） 修理时间 — 包括以下：  诊断：识别设备故障的源由的过程。  纠错行为：提出设备的故障处并使设备恢复到正常运作的维修过程。 （包括设备断工、复工、重建、重设置、再循环、 再启动、回到前一个软件版本等等）  设备测试：运行设备以证实它的功能。 （比如，系统达到基本压力，芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。 ） 5  校正运行：在改变后为确认设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。 改变化学材料及消耗品 — 指计划外的为补充半导体流程中的原材料时打断生产运行。 它包括改变气瓶、酸、目标、来源等等以及任何与改变相关的充、洗、清洁。 但不包括在得到化学材料、消耗品补给之前的延误时间。 不合规范的输入 — 由于不合规范的输入或错误输入而造成一些问题使 设备不能正常运行的时间。 这些输入包括：  辅助工具（例弯曲的密封盒或芯片运输器、错误的数据解释或输入）  产品（例逆流的流程或产品问题，弯曲的芯片，受污染的芯片，弯曲的铅框）  测试数据（例未经校正的计量工具，误读的图表，错误的数据解释或输入）  消耗品及化学材料（例如受污染的酸，有渗漏的焊接，衰变的光阻，品质低劣的铸造物） 任何由于以上各项造成的停工时间包括在不含规范的输入之停工时间范围内。 例如，由于间断的探测卡片短缺、探测系统要修理。 由此而产生的停工时间分类在不合规范的输入的停工时间。 与基础设施相关的停工 — 由于缺乏辅助的基础设施而使设备不能按预定功能运行的一段时间。 相关的基础设施有：  环境（例温度、湿度、震动、微粒度）  房屋的悬挂装。