真空泵的采购知识汇总(编辑修改稿)

真空泵的采购知识汇总(编辑修改稿)内容摘要：

7 页 77 41870 83 53400 87 62480 93 78460 97 90920 100 101325 101 104980 2一 些物质的熔点、熔解热、沸点和汽化热 物质 熔点 （ ℃ ） 熔解热 （ Cal/g) 沸点 （ ℃ ） 汽化热 （ Cal/g） 酒精 114 78 204 二硫化碳 112 84 氨 33 327 松节油 10 80 160 冰 0 80 100 539 萘 80 33 218 生铁 1100~1200 8 2450 93 一氧化碳 200 190 263 醋酸 104 甲醇 94 苯胺 124 苯 － － 丙酮 － － 真空常用名词术语 真空的定义 真空度 真空度单位 托与帕的转换 平均自由程 流量 流导 压力或压强 标准大气压 极限真空 1抽气速率 1热偶真空计 1电离真空计 1复合真空计 1冷阴极电离计 1电阻真空计 1麦克劳真空计 1 B－ A规 1水环真空泵 往复真空泵 2油封机械真空泵 2罗茨真空泵 2涡轮分子真空泵 2油扩散真空泵 2低温真空泵 2冷阱 2气镇阀 2真空冷冻干燥 2真空蒸镀 真空干燥 中国最大的管理资源中心 (大量免费资源共享 ) 第 15 页 共 47 页 真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态 真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用 “ 真空度高 ” 和 “ 真空度低 ” 来 表示。 真空度高表示真空度 “ 好 ”的意思，真空度低表示真空度 “ 差 ” 的意思。 真空度单位 通常用托（ Torr）为单位，近年国际上取用帕（ Pa）作为单位。 1 托＝ 1/760 大气压＝ 1毫米汞柱 托与帕的转换 1 托＝ 帕 或 1 帕＝ 179。 10 3托 平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号 “λ” 表示。 流量 单位时间流过任意截面的气体量，符号用 “Q” 表示，单位为帕 178。 升 /秒（ Pa178。 L/s ）或托 178。 升 /秒（ Torr178。 L /s）。 流导 表示真空管道通过气体的能力。 单位为升 /秒（ L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。 符号记作 “U”。 U＝ Q/(P2 P1) 压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用 “P” 表示。 标准大气压 压强为每平方厘米 101325 达因的气压，符号：（ Atm）。 极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。 通常真空容器须经 12小时炼气，再经 12小时抽真空，最后一个小时每隔 10 分钟 测量一次，取其 10 次的平均值为极限真空值。 中国最大的管理资源中心 (大量免费资源共享 ) 第 16 页 共 47 页 1抽气速率 在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。 即 Sp＝ Q/（ P－ P0） 1热偶真空计 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。 1电离真空计（又收热阴极电离计） 由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。 热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。 1复合真空计 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气 ~105Pa。 1冷阴极电离计 阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。 1电阻真空计 利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。 1麦克劳真空计（压缩式真空计） 将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。 1 B－ A规 这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。 收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软 X 射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。 1水环真空泵 泵的叶轮转子旋转而产生水环。 由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。 往复真空泵 中国最大的管理资源中心 (大量免费资源共享 ) 第 17 页 共 47 页 利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。 2油封机械真空泵 用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。 2罗茨真空泵 具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。 2涡轮分子真空泵 有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。 2油扩散真空泵 扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。 在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。 2低温真空泵 利用 20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。 2冷阱（水冷挡板） 置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。 2气镇阀 油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。 2真空冷冻干燥 真空冷冻干燥，也称升华干燥。 其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。 2真空蒸镀 在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀 膜。 真空干燥 中国最大的管理资源中心 (大量免费资源共享 ) 第 18 页 共 47 页 利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。 3真空系统常用名称 (1)主泵： 在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。 (2)前级泵： 用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。 如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。 (3)粗抽泵： 从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。 如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。 (4)维持泵： 在真空系统中，气量很小时，不能有效地利 用前级泵。 为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。 如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。 水环式真空泵 /液环真空泵工作原理 水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为 20xx~4000Pa，串联大气喷射器可达 270~670Pa。 水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为 1~2105Pa 表压力。 水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。 在工业生产的许多工艺过程中，如 真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。 由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。 由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。 中国最大的管理资源中心 (大量免费资源共享 ) 第 19 页 共 47 页 如图：在泵体中装有适量的水作为工作液。 当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。 水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（ 实际上叶片在水环内 有一 定的插 入深度）。 此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。 如果以叶轮的下部0176。 为起点，那么叶轮在旋转前 180176。 时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。 综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。 水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点：  结构简单，制造精度要求不高，容易加工。  结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。 故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。  压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。  由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。 转动件和固定件之间的密封可直接由水封 中国最大的管理资源中心 (大量免费资源共享 ) 第 20 页 共 47 页 来完成。  吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方 便。 水环泵也有其缺点：  效率低，一般在 30%左右，较好的可达 50%。  真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。 用水作工作液，极限压强只能达到 20xx~4000Pa。 用油作工作液，可达 130Pa。 总之，由于水环泵中气体压缩是等温的，故可以抽除易燃、易爆的气体。 由于没有排气阀及摩擦表面，故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。 有了这些突出的特点，尽管它效率低，仍然得到了广泛的应用。 旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封 式机械真空泵。 其工作压强范围为 101325~102（ Pa）属于低真空泵。 它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。 它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。 但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。 旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。 旋。