超精密加工毕业设计论文(编辑修改稿)

超精密加工毕业设计论文(编辑修改稿)内容摘要：

：一是通过研具 (1)本身的自定位机构来达到；二是通过采用数控系统使研磨头 (2)倾斜一φ角来实 现。 球形镜面的磨抛加工法是建立在借助激光干涉仪 (4)进行表面 (3)的误差测量的基础上 (图2b)。 测量时，激光干涉仪沿 X 和 Y 坐标移动，或沿 X， Y 中之一的方向移动和工作台 (5)转动，镜面误差的测量结果被记录在模拟量或数字量的记忆装置中，然后进行处理。 根据来自数控系统的指令磨头 (研具 )被移动到标有对给定面形误差最大的偏差处并磨除材料。 之后表面被重新检测和重复加工工序。 就这样以逐步趋近的方法去达到所要求的面形精度。 平面形镜面的加工主要采用磨削和研抛工艺方法来加工，目前此法所能达到的最高平面度，表面粗糙度 Ra1nm。 五、电物理加工法 电物理加工的方法有多种，其中获得最广泛应用的是电磨料抛光和离子束表面加工。 前者的实质是使电解加工过程中所产生并留下的氧化膜由磨料从被加工表面上去掉以获得镜面；後者则是借助离子发生器射出的离子束对表面进行研、抛。 离子束表面加工法如图 3 所示：经过预磨削加工的工件 (2)被放置入真空度保持在 103Pa的真空室 (1)中，离子发生器 (8)射出的离子束以高达 30K电子伏的强度作用在被加工的表面上，并以 1181。 m ~5181。 m/h 的速率去除表层材料，从而达到 10nm乃至更高的形状精度。 在工作过程中，离子发生器 (8)射出的离子束打在工件上的强度和加工过程均由计算机 (6)及程序软件 (5)来实现，而根据激光干涉仪 (9)对被加工表面形状的检测结果，借助驱动装置 (12)来调节光栏 (掩盖物 )(11)改变离子束强度，通过控制器 (7)控制离子发生器 (8)，通过驱装置 (3)和 (4)控制工件位置，并由传感器 (10)来测量和控制真空室 (1)中的温度，使之保持恒定。 除上述方法之外，还有其他的超精密复合加工方法，如电火花成形加工後继而采用的流体抛光法、电化学抛光法、超声化学抛 光法、动力悬浮研磨法、磁流体研磨法以及采用 ELID 技术的磨削法等。 采用 ELID 技术进行光学玻璃非球面透镜加工时面形精度可达 ，表面粗糙度则达Ra=20nm。 六、超精密加工机床的设计与制造 超精密加工机床设计与制造的关键与核心问题是保证超精密加工工艺和目标的实现。 因此，超精密加工机床的设计和制造的基本原则和要求是：消除或减少机床上的热源和振源；提高机床的结构刚度和几何精度；减少机床的变形 (含温度变形和力变形 )对机床加工精度的影响等。 为了实现这些基本原则和要求，超精密加工机床设计时，经常采取的一些原 则措施有： （ 1） 首先是尽量不用或少用摩擦发热量大的传动装置 (如机械无级调速器 )，并把工作过程中发热量大的热源 (如电机、冷却润滑油箱等 )与机床本体结构分离或隔热，以避免热量落入机床本体引起机床结构的热变形。 （ 2） 选用热胀系数α和导热系数λ值低的材料作机床的重要零部件材料。 这样的材料如表所示。 与此同时也要尽量采用热物理特性相同或相近的材料来制造机床的构件和零部件。 （ 3） 零部件的结构。