基于plc的ito生产线控制系统设计毕业设计(编辑修改稿)

基于plc的ito生产线控制系统设计毕业设计(编辑修改稿)内容摘要：

介绍 ITO 得温度工艺结合控制理论 PID 控制方法，通过理论分析结合 PID控制在 PLC 软件上的实现 完成 ITO 生产线得 温度控制工艺。 2 ITO膜生产工艺及控制方案设计 本章 介绍 ITO 得生产工艺流程 分析 ，该生产工艺过程 然后针对工艺流程中的相关特点 ， 对 ITO 生产线控制系统的设计 ， 进行总体规划。 ITO 生产的工艺流程 ITO 生产线所有设备示意图如下图 （ ） 所示 12 毕 业 设 计 说 明 书 ( 论 文 ) 第 10 页 共 28页 图 （ ） ITO 生 产线 设备示意图 生产线设备主要包括以下几个部分：分别是 Feeder 收发片机， Inline 传送机构 ， INCLamp。 PDCL 清洗机构 ， Oven 烘烤设备， Handling 大气搬送机， Sputter为 ITO 成膜设备。 具体生产工艺为： Glass 从 Index 传出，经过 Inline 进入 INCL进行镀膜前的 清洗 Glass 上 Particle，清洗干净 Glass 通过 Handling 进入Sputter 设备通过真空磁控模式镀膜，镀膜后通过 PDCL 对镀膜后的 Glass 进行清洗 表面杂质 ，清洗干净后进入 Oven 进行烘烤 ，退火后进入 AOI 微观 进行品质检查，最终回到 Feeder 生产完成。 ITO 生产线控制系统的要求及主要参数 ITO 生产线控制系 统包含以下控制器回路：温度传感器和功率控制器组成的工艺控制回路、编码器、接触器组成距离测量回路。 还有变频器、伺服驱动器控制得 速度 以及位置控制回路，及人机界面和仪表组成复杂得 现场总线控制系统，该控制系统具有以下功能： 系统有计算机控制，要求稳定可靠。 人机操作界面要求简单易懂，便于查看信息与操作。 能实时显示工艺流程中的重要参数，并显示各点击状态和传感器状态。 只有具有修改权限的操作人员才可修改系统运行参数，同时当操作人员发生误操作时，系统会发出警告信息提醒操作人员。 CV :1700 Brush 2 Fluid Jet Shower（纯水） A/K CV :1700 BF BF BF CV :1700 A/K Shower（纯水） 2 Fluid Jet Brush（洗剂） APP CV :1700 BF CV :1700 Lifter Unpacker OVEN BF AOI CV :2500 CV :2500 Sputter Sputter Stocker Stocker TN Mode 入口 13 毕 业 设 计 说 明 书 ( 论 文 ) 第 11 页 共 28 页 有可靠 保护机构和报警方式。 出现故障时，能够及时的通知在线操作人员并在人机界面显示故障发生的位置，以便 第一时间 故障得到快速、妥当处理。 报警信息具备 Warning 与 Alarm 之分， Warning 报警为提示功能不会导致宕 机，以提高设备生产效率。 电机具有实时性好，反映准确灵敏，抗干扰能力强。 生产线主要传送速度能够同步。 Glass 在各个设备交接传送时，两个设备间的传送速度要能同步 以防止速度不同导致的 Glass 表面受到 划伤。 ITO Inline Network (1) Telemunication Specification The telemunication method between the PLC in the equipment and the PC is MELSECNET/G. However, the HOST telemunication with the CIM follows the HOST specification. The basic specification of the MELSECNET/G telemunication is as follows: Module Type : QJ71GP21SX (PLC), Q80BDJ71GP21SX(PC) Speed: 1Gbps Cable Type : Optic (SI, HPCF, broadband HPCF, QSI) Link Range : LB0000 ~ LB7FFF, LW0000 ~ LW1FFFF Following the specification of the Melsec for other items Specific information on 39。 Network No.39。 , 39。 Station No.39。 and 39。 Memory39。 , configuration related to telemunication for devices in the Inline, are recorded in the 39。 Memory Map39。 . (2) Network Chart 如图（ ） This line is for MelsecNet among devices and configured as below. ITO 成膜设备控制系统的组成 图（ ） Network Chart 14 毕 业 设 计 说 明 书 ( 论 文 ) 第 12 页 共 28页 现场总线介绍 现场总线 (过程现场总线 )是一个开放的现场总线系统 ,标准化的 EN 50170,因此独立于制造商。 现场总线使用分散的外围 ,现场总线与通信节点 ,然后通过控制信号从现场总线组件。 现场总线是适合 :快速、实时数据传输和广泛 ,复杂的通信任务。 现场总线应用 :生产自动化、过程自动化和楼宇自动化。 现场总线结构 FMS = FIELDBUS MESSAGE SPECIFICATION DP= DEZENTRALIZED PERIPHERY PA = PROCESS AUTOMATION 结构 如图（ ）所示 图（ ）现场总线结 3 生产线控制系统的硬件设计 15 毕 业 设 计 说 明 书 ( 论 文 ) 第 13 页 共 28页 本章研究了 ITO 控制系统的硬件构成，前面介绍了 ITO 生产线的控制系统采用现场控制总线系统，将系统分为输出逻辑处理、输出和反馈监控四个部分。 下面就针对 ITO 设备所应用的 控制系统 设计进行 研究。 System overview ITO 生产设备真空磁控溅射控制系统图如图（ ） 图（ ）真空磁控溅射系统图 图中每个单元功能如下： VM： Vacuum Module FVP: Fore Vacuum Pump Station Cr: Crane VGT： Venting gas tank EC： Electrical cabi Tr： Transformer Vacuum Module 超 真空 是 ITO 成膜的关键因素之一，如何能够保证 Glass 从大气进入设备后很短时间内达到成膜压力是本文主要的重点，下面就研究 ITO 成膜设备的真空腔室，如图（ ）所示： 16 毕 业 设 计 说 明 书 ( 论 文 ) 第 14 页 共 28 页 图（ ） Vacuum Module 腔室各功能配置如下： Sputtering equipment Heating elements, radiating plates and shieldings Water cooling equipment High vacuum pumps Connections for the pump system, pressure gauges and gas supply Flange openings for electrical and mechanical feedthroughs as well as viewing windows Lock valves and additional inline module units can be connected on the side. Heater equipment 电加热器用于保持 Glass 在生产中保持最佳温度， 加热系统的结构 如下图（ ）所示： The heating elements are resistance wires made of steel, arranged meandering. They are mounted on heat reflecting sheets. To measure the temperatures, thermocouples are attached at the heating elements. 17 毕 业 设 计 说 明 书 ( 论 文 ) 第 15 页 共 28页 图（ ）加热系统的结构 Pump system ITO 成膜设。