300mm
300mm硅外延片表面颗粒缺陷的研究毕业论文(编辑修改稿)
6mm的单晶 硅。 晶体 熔体界面的形状对晶体内部缺陷行为的影响 通过试验加以研究。 为得到各种形状的交界面，试验通过将坩埚放置在某固定加热器和另外多个加热器的不同相对位置上，获得各种不同的热工况以改变熔融对流。 随着自然对流的增 强，以及 对无缺陷晶体的 提拉 临界速度的增长，晶体 熔体界面变的更加凹陷（相对晶体更加凸起）。 随后通过数值分析方法分析了试验数据。 关键词 ： ， A2：缺陷，