光刻机
ut光刻机报警灯设计与安装毕业论文(编辑修改稿)
C：优化性能比较：提高了响应时间 优化后 性能规格合格，实际方案已经固化。 后续剩余所有 UT STEP 光刻 机报警安装计划都采用最终的优化方案。 UT1100 报警响应时间 绿灯常亮：设备状态发生 设备正常作业 报警响应时间 立即 绿灯闪亮：设备状态发生 设备作业结束 报警响应时间 6 秒内 红灯常亮：设备状态发生 AUTOLOAD 传输报警 报警响应时间 立即 红灯闪亮：设备状态发生 Z