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hdb╱yd003－2000单晶硅棒、单晶硅片加工贸易单耗标准及编制说明(编辑修改稿)
单晶硅抛光片品质规格： 单晶硅抛光片的表面质量：正面要求无划道、无蚀坑、无雾、无区域沾污、无崩边、无裂缝、无凹坑、无沟、无小丘、无刀痕等。 背面要求无区域沾污、无崩边、无裂缝、无刀痕。 （ 2）加工工艺知识 多晶硅加工成单晶 硅棒： 多晶硅长晶法即长成单晶硅棒法有二种： CZ（ Czochralski）法 FZ（ FloatZone Technique）法 目前超过