膜系
tfcalc膜系设计手册译文
剪切板( Save Layer Data in Clipboard): 该命令将每层的 膜料 名称及物理厚度拷贝到剪切板上。 替换膜层数据( Substitute Layer Data): 该命令使用户能够快速建立许多数据项,下面的对话框意思如下:他寻找所有与第一列条件匹配的膜层,然后用第二列的值改变膜层中相关字段值。 如果第一列是空的,那么它与所有层匹配,在第一列, QWOT和厚度项是不相等的
几种膜系特点及应用研究毕业论文(编辑修改稿)
显地影响薄膜形成的机制 ,加强沉积薄膜过程中合金和化合物形成中的化学反应。 由此可能制备出新的薄膜材料 ,发展新的溅射技术。 与通常的磁控溅射比较 ,高速率溅射和自溅射的特点在于高的靶功率密度 ,靶功率密度超过 50W/m2。 还必须很好地把等离子体限制在溅射靶表面附近 ,并且获得最大气体的离化率和溅射靶冷却条件。 因此高速率磁控溅射必须使用能够满足上述条件的特殊磁控管。