容栅
基于容栅的线位移测量系统设计(编辑修改稿)
U=Q/C。 (28) C=Ξ s/4kπ d； (29) S=VL。 (210) U=（ 4kπ d Q/Ξ L） *1/V。 (211) U—— 栅极板电压； Q—— 栅极板电量； C—— 栅极板电容量； S—— 栅极板正对面积； d—— 定栅和动栅的间距； V—— 测量移动速度； L—— 动栅极板长度； 于是容栅位 移传感器输出的电信号就与移动速度成反比例函数。