椭圆偏振
用椭圆偏振仪测量薄膜厚度
r2p=tan(φ2φ3)/tan(φ2+φ3), r2s =sin (φ2φ3)/ sin(φ2+φ3) 即著名的菲涅尔（ Fresnel） 反射系数公式． 如果能从实验中测出 ψ和 Δ的值，原则上就可以算出薄膜的折射率 n2和厚度 d．这就是椭圆偏振法测量的基本原理 实验仪器 椭圆偏振仪 实验内容 （ 1）接通激光电源和硅光电池电源，在样品台上放好被测样品，将手轮转至“目视”位置