直拉
直拉单晶硅设备与工艺研究毕业设计(编辑修改稿)
空系统组成。 主室真空系统包括滑阀泵、带放气真空电磁阀、除尘器、电动碟阀、压力变送器等。 真空管道与炉体的连接直拉单晶硅设备与工艺研究 7 采用波纹管连接，减少振动的传播，并补偿管路连接的位置误差。 副炉室真空系统包括旋片式真空泵、带放气电磁阀、电磁截止阀。 直拉单晶炉保养和维修 简介 直拉单晶炉 要经常保养，才能保持正常地长期运转。 保养主要有以下几个方面。 （一） 每次开炉前把籽晶轴和坩埚轴