铸锭
多晶铸锭生产工艺文件
5177。 2） LPM （ 炉体下腔和下部 ） F8：（ 9177。 2） LPM （ 机械泵和总阀 ） 开始铸锭 将 装 有硅料的坩埚放到 定向凝固 块上 ： 注意：坩埚的位臵要处于 定向凝固块 块的正中央，距 定向凝固块 块周围的距离 左右 ，误差不 要 超过 2mm（特殊交代除外）。 对炉子进行手动抽真空检漏。 确定绝热笼的 位臵，其位臵是以腔体下边 沿 为零点。 铸锭 开始前，校准 隔